VF-5700 對(duì)應(yīng)300mm Wafer的小型立式爐

參考價(jià): 面議

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型號(hào)VF-5700
品牌
所在地
更新時(shí)間2021-10-01

安捷來(lái)國(guó)際股份（香港）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1258
人氣值6906

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對(duì)應(yīng)300mmWafer的小型立式爐:MiniBatch

對(duì)應(yīng)300mm Wafer的小型立式爐產(chǎn)品詳情

對(duì)應(yīng)300mm Wafer的小型立式爐:

Mini Batch, flexible 25 to 50 wafers batch processing
Max 12 FOUP stocks
High throughput by high-power heater with fast heat up
High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
Equipped with operator friendly high performance control system

Outer dimension		W1250×D2000×H2850mm
Heater		High power LGO heater(ID ø500mm)
Flat zone length		500mm
Wafer size		300mm
Batch size		50wafers
I/O port		2
Number of FOUP stock		12(standard)
Finger		5wafers+single wafer
Controller		Model VSC1000
Option		Forced-cooling system, N₂ load lock, HOST communication(GEM300), Stocker less type(VF-5700-F2)

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