VF-3000 對(duì)應(yīng)300mm Wafe的立式爐

參考價(jià): 面議

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型號(hào)VF-3000
品牌
所在地
更新時(shí)間2021-10-01

安捷來(lái)國(guó)際股份（香港）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1258
人氣值6906

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對(duì)應(yīng)300mmWafe的立式爐:Low-costequipmentforbackendusersMinibatch

對(duì)應(yīng)300mm Wafe的立式爐產(chǎn)品詳情

對(duì)應(yīng)300mm Wafe的立式爐:

Low-cost equipment for back end users
Mini batch, 50 to 75 wafers processing is available for R&D to mass production line
4 to 8 inch wafer size is available
Max 4 cassette stocks
Excellent temperature control from low to medium high temperature range by use of LGO heater
High-speed wafer transfer by use of single/five wafers handling robot
Equipped with operator friendly high performance control system

Outer dimension		W1200×D1400×H2550mm
Heater		LGO heater
Flat zone length		350~500mm
Wafer size		4~8inch
Batch size		75wafers
I/O port		4
Number of FOUP stock		4
Finger		single wafer
Controller		Model 880
Option		Forced-cooling system, Convertible wafer size

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