VF-1000 R&D, 少量生產(chǎn)用立式爐

參考價: 面議

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型號VF-1000
品牌
所在地
更新時間2021-10-01

安捷來國際股份（香港）有限公司

廠商性質經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實名認證已認證
產(chǎn)品數(shù)量1258
人氣值6906

產(chǎn)品標簽

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RD1000H2100mmHeaterLGOheaterFlatzonelength160to250mmWafersizeto8inchBatchsizeto25wafersControllerModel880OptionForced-coolingsystem

R&D, 少量生產(chǎn)用立式爐產(chǎn)品詳情

R&D, 少量生產(chǎn)用立式爐：

High performance processing for R&D
Mini Batch, max 25 wafers batch processing
2 to 8 inch and 300mm wafer size are available
Equipped with LGO heater to realize high temperature performance as mass-production equipment
Equipped with limited function simple control system

Outer dimension		W1500×D1000×H2100mm
Heater		LGO heater
Flat zone length		160 to 250mm
Wafer size		to 8inch
Batch size		to 25wafers
Controller		Model 880
Option		Forced-cooling system, N₂ load lock, 25 to 150 wafers of processing (VF-2000)

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