RLA-1200 感應(yīng)加熱式高速升降溫爐

參考價: 面議

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型號RLA-1200
品牌
所在地
更新時間2021-10-01

安捷來國際股份（香港）有限公司

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所在地區(qū)
實名認(rèn)證已認(rèn)證
產(chǎn)品數(shù)量1258
人氣值6938

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產(chǎn)品簡介在線詢價

感應(yīng)加熱式高速升降溫爐：4to8inchwafersizeisavailableLowcostsystembymanualsusceptortransferUpperD1300H1850mmOperationtemperature400to1200℃HeatuprateMax

感應(yīng)加熱式高速升降溫爐產(chǎn)品詳情

感應(yīng)加熱式高速升降溫爐：

4 to 8 inch wafer size is available
Low cost system by manual susceptor transfer
Upper & lower cross lamp structure and soaking furnace improved the uniformity of in-plane temperature
Vacuum designed quartz tube enables accurate gas substitution and process at vacuum pressure
Equipped with operator friendly high performance control system

Outer dimension		W1300×D1300×H1850mm
Operation temperature		400 to 1200℃
Heat up rate		Max.200℃/sec
Lamp layout		Upper & lower cross lamp arrays
Number of control zone		6
Wafer size		4 to 8 inch
Wafer transfer		manual
Controller		Model RSC 1000
Option		Vacuum system, Clean bench

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