DLS系列直線納米位移臺-混合驅(qū)動技術(shù)
DLS-32系列直線納米位移臺
型號 | 行程 | 尺寸 | 重量 |
DLS-3232 | 21 mm | 32 x 32 x12 mm3 | 50 g |
- 壓電掃描范圍>10μm
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負載:500g
- Z向使用舉力>1.5N
- 無負載振蕩頻率>700Hz
- 掃描截止頻率>35Hz
DLS-52系列直線納米位移臺
型號 | 行程 | 尺寸 | 重量 |
DLS-5252 | 30 mm | 52 x 52 x 15 mm3 | 150 g |
- 壓電掃描范圍>35μm
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負載:500g
- Z向使用舉力>1.5N
- 無負載振蕩頻率>350Hz
- 掃描截止頻率>10Hz
其他參數(shù)及選項
- 閉環(huán)控制
- 速度>20mm/s
- 分辨率(MCS2控制器):1nm(-S)
- 材質(zhì)選項:標準鈦座材質(zhì),鋁座材質(zhì)(-AL)
- 真空兼容性:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 無磁選項:-NM