MLS系列直線納米位移臺(tái)-電磁驅(qū)動(dòng)技術(shù)
MLS-32系列直線納米位移臺(tái)
型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
MLS-3252 | 25 mm | 32 x 52 x 15 mm3 | 80 g |
- 連續(xù)力:1N
- 峰值力:2.5N
- 垂直負(fù)載:1kg
- 移動(dòng)質(zhì)量:40g
- 閉環(huán)控制
- 速度:350mm/s (半行程,無(wú)負(fù)載)
- 加速度:50m/s2(無(wú)負(fù)載)
- 定位穩(wěn)定性:3nm
- 全行程重復(fù)精度(MCS2控制器):±50nm(單向), ±200nm(雙向)
MLS-52系列直線納米位移臺(tái)
型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
MLS-5282 | 38 mm | 52 x 82 x 14 mm3 | 200 g |
- 連續(xù)力:2N
- 峰值力:5N
- 垂直負(fù)載:2kg
- 移動(dòng)質(zhì)量:100g
- 閉環(huán)控制
- 速度:750mm/s (半行程,無(wú)負(fù)載)
- 加速度:45m/s2(無(wú)負(fù)載)
- 定位穩(wěn)定性:3nm
- 全行程重復(fù)精度(MCS2控制器):±50nm(單向), ±200nm(雙向)
MLS-92系列直線納米位移臺(tái)
型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
MLS-92122 | 65 mm | 92 x 122 x 17 mm3 | 640 g |
- 連續(xù)力:7.5N
- 峰值力:22N
- 垂直負(fù)載:5kg
- 移動(dòng)質(zhì)量:400g
- 閉環(huán)控制
- 速度:900mm/s (半行程,無(wú)負(fù)載)
- 加速度:45m/s2(無(wú)負(fù)載)
- 定位穩(wěn)定性:3nm
- 全行程重復(fù)精度(MCS2控制器):±50nm(單向), ±200nm(雙向)
其他參數(shù)及選項(xiàng)
- 材質(zhì)選項(xiàng):標(biāo)準(zhǔn)鋁座材質(zhì)