SHL系列升降式直線納米位移臺
型號 | 行程 | 舉力 | 精度 |
SHL-1D20N-10 | 10 mm | 20 N | 1 nm |
SHL-1D80N-1 | 1 mm | 80 N | 1 nm |
SHL-3D5N-1 | 10 mm | 5 N | 1 nm |
其他參數(shù)及選項
- 開環(huán)步進:50-3000nm, 50-1500nm(SLL12)
- 壓電掃描范圍:0.5μm
- 壓電掃描精度<1nm
- 速度>9mm/s
- 可選閉環(huán)驅(qū)動器及分辨率
- -L: 4nm(MCS控制器), 500nm(HCU/CU控制器)
- -S, -SC: 1nm(MCS控制器)
- 氧化發(fā)黑選項:-BK
- 高真空和超高真空選項:-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
產(chǎn)品特點 | |
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應用領域 | |
? 光學研究: 電動光闌、狹縫、濾光片輪、光纖準直、鏡片調(diào)節(jié) ? 掃描電鏡/光學/原子力顯微鏡:樣品、探測器/光源定位、樣品操作 ? 自動化控制:低成本、超小體積、高精度、模塊化、直接集成 ? 材料應用:缺口測量、張力、微小壓縮測量、刮痕彎曲等測量 ? 天文、航天航空: 高加速度、低壓、低溫條件下控制 ? 度量衡學:長度測量、厚度測量、坐標測量、位置計量 ? 生命科學:細胞操作、膜片鉗、計數(shù)&分選 |