CLS系列直線納米位移臺(tái)-可更換摩擦元件EDU設(shè)計(jì)
CLS-32系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| CLS-3232 | 21 mm | 32 x 32 x11 mm3 | 33 g |
| CLS-3252 | 31 mm | 32 x 52 x 11 mm3 | 54 g |
| CLS-3282 | 51 mm | 32 x 82 x 11 mm3 | 87 g |
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負(fù)載：3kg
- Z向使用舉力>1.5N
CLS-52系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| CLS-5252 | 31 mm | 52 x 52 x 14 mm3 | 94 g |
| CLS-5282 | 51 mm | 52 x 82 x 14 mm3 | 157 g |
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負(fù)載：2kg
- Z向使用舉力>1N
CLS-92系列直線納米位移臺(tái)
| 型號(hào) | 行程 | 尺寸 | 重量 |
| CLS-9292 | 63 mm | 92 x 92 x 17 mm3 | 357 g |
| CLS-92152 | 103 mm | 92 x 152 x 17 mm3 | 591 g |
- 阻塞力≥3.5N
- 垂直負(fù)載：3kg
其他參數(shù)及選項(xiàng)
- 開環(huán)控制
- 速度>20mm/s
- 分辨率<1nm
- 閉環(huán)控制
- 分辨率(MCS2控制器)：1nm(-S), 4nm(-L)
- 雙向全行程重復(fù)精度(MCS2控制器)：±50nm(-S), ±100nm(-L)
- 分辨率(SCU控制器)：4nm(-L)
- 全行程重復(fù)精度(SCU控制器)：±1000nm(-L)
- 材質(zhì)選項(xiàng)：標(biāo)準(zhǔn)鋁座材質(zhì)，鈦?zhàn)馁|(zhì)(-TI)
- 真空兼容性：-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 無磁選項(xiàng)：-NM
