SmarAct角位移臺
SmarAct可提供各種半徑的SGO系列角位移臺 |
型號 | 半徑 | 體積 | 行程 |
SGO-60.5 | 60.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
SGO-77.5 | 77.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
SGO-93.5 | 93.5 mm | 50 x 50 x 17 mm3 | ± 5 ° |
其他參數(shù)及選項(xiàng)
- 開環(huán)步進(jìn):0.7-7 μrad
- 壓電掃描范圍:10.5 μrad
- 壓電掃描精度:0.01 μrad
- 速度:4 °/s
- 垂直負(fù)載:500g
- 可選閉環(huán)驅(qū)動器及分辨率
- -M: 1.5 μrad(MCS控制器), 4.5 μrad(HCU/CU控制器)
- -L: 0.12 μrad(MCS控制器), 1.5 μrad(HCU/CU控制器)
- -S: 0.03 μrad/2μ°(MCS控制器)
- 高真空和超高真空選項(xiàng):-HV(10-6 mbar), -UHV(10-11 mbar)
- 長壽命導(dǎo)軌選項(xiàng):-Z