WaveMaster® Compact - 作為質(zhì)量保證的一部分的單鏡頭波前測(cè)量儀的不錯(cuò)選擇
WaveMaster® Compact系列產(chǎn)品可以簡單快速的完成對(duì)球面或非球面鏡片波前質(zhì)量的檢測(cè),并運(yùn)用澤尼克多項(xiàng)式實(shí)時(shí)分析波前數(shù)據(jù),在生產(chǎn)和研發(fā)上都有著廣泛應(yīng)用。 | ![]() WaveMaster® Compact適用于基于夏克·哈特曼的波前測(cè)量 |
主要功能
*可快速、簡單的更改裝置設(shè)置實(shí)現(xiàn)不同測(cè)量范圍間的切換;
*針對(duì)量化生產(chǎn)的高速測(cè)量;
*高精度四軸校準(zhǔn)樣品架,用于亞微米位置調(diào)整;
*自動(dòng)聚焦;
*高精度;
*與主透鏡或設(shè)計(jì)文件中波陣面的實(shí)時(shí)比較;
*點(diǎn)光源、多種通光孔徑可選;
*防振式結(jié)構(gòu),避免振動(dòng)影響;
*功能完備的軟件;
WaveMaster Compact利用其內(nèi)部的夏克·哈特曼波前傳感器檢測(cè)以下參數(shù): *面型(PV,RMS等); *Zernike系數(shù); *點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)(PSF); *調(diào)制傳遞函數(shù); *斯特列爾比; *楔角;
基于夏克·哈特曼傳感器的波前測(cè)量
WaveSenso軟件控制WaveMaster 設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)。它具有簡明清晰的操作界面。包含測(cè)量與分析的功能,軟件與夏克·哈特曼傳感器進(jìn)行通訊,能夠?qū)λ貌ㄇ皵?shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)分析。
軟件優(yōu)勢(shì)
*菜單指導(dǎo)用戶;
*簡單直觀的波前測(cè)量與分析;
*一個(gè)軟件包涵蓋功能:數(shù)據(jù)收集、計(jì)算、顯示、實(shí)時(shí)分析;
*可從ZEMAX和Code V加載理論值,并與實(shí)時(shí)測(cè)量結(jié)果相比較;
軟件詳細(xì)介紹
主要功能:
*實(shí)時(shí)顯示波前采集和分析;
*顯示:
*減少背景光線;
*波前、邊緣以及相位的2D或3D的實(shí)時(shí)顯示。
*峰谷和RMS的實(shí)時(shí)顯示;
*光強(qiáng)的實(shí)時(shí)顯示;
*傾斜度顯示;
*實(shí)時(shí)顯示照相機(jī)成像;
*導(dǎo)入波前理論數(shù)據(jù)與測(cè)量數(shù)據(jù)對(duì)比;
*或相對(duì)式測(cè)量;
*傾斜和散焦的實(shí)時(shí)修正;
*樣品調(diào)整工具(傾斜及位置調(diào)整);
*生成證書;
*多種分析模塊可用;
MTF/PSF分析模塊
*MTF/PSF的實(shí)時(shí)計(jì)算與顯示;
*橫截面的實(shí)時(shí)顯示;
*便于導(dǎo)出測(cè)量結(jié)果;
*計(jì)算Strehl比率;
Zernike分析模塊
*系數(shù)的自由選擇,包括在分析過程中的輸入和刪除;
*實(shí)時(shí)澤爾尼克分析;
*Zernike系數(shù)的數(shù)字和圖形實(shí)時(shí)顯示;
*從ZEMAX和Code V導(dǎo)入波前理論數(shù)據(jù)與測(cè)量數(shù)據(jù)對(duì)比;
*導(dǎo)出波前數(shù)據(jù)和分析結(jié)果到ASCII和ZEMAX;
INSTRUMENT控制
*自動(dòng)對(duì)焦功能;
*自動(dòng)尋找出瞳平面;
*自動(dòng)樣品定位(可選);
*使用預(yù)先設(shè)定的配置文件;
測(cè)量配置 | 檢測(cè)光學(xué)波前面透射式無限共軛設(shè)置 |
樣品直徑* | 0.5 mm - 14 mm |
EFL** | -30— +100 mm |
波長*** | 365 nm - 1064 nm |
樣品架 | 單座 手動(dòng)定位 |
精度 | <λ /20(RMS) |
重復(fù)率 | <λ /200(RMS) |
動(dòng)態(tài)范圍 | 2000λ |
檢測(cè)頻率(MAX) | 12 Hz |
橫向分辨率 | 138 x 138 |
*取決于光管
**取決于光源;
***依用戶選擇;
WaveMaster® Compact的升級(jí)和附件
波前傳感器的特點(diǎn)是靈活的設(shè)計(jì),可以使用儀器適應(yīng)特定的應(yīng)用需求,借助以下附件和升級(jí),WaveMaster系統(tǒng)的功能得到擴(kuò)展。
波前傳感器
當(dāng)需要更高的動(dòng)態(tài)范圍或精度時(shí),可以更換WaveMaster儀器的波前傳感器,作為升級(jí),所有可用的WaveMaster設(shè)備都可以實(shí)施到WaveMaster儀器中,可根據(jù)要求提供更多波前傳感器。
照明
具有不同波長和數(shù)值孔徑的光源可供選擇,數(shù)值孔徑之間的切換由于運(yùn)動(dòng)學(xué)安裝而被簡化。
望遠(yuǎn)鏡
為了利用傳感器的動(dòng)態(tài)范圍,從而提供橫向分辨率,可以使用一套望遠(yuǎn)鏡。
根據(jù)樣品直徑和波前傳感器的尺寸,必須選擇放大倍率,運(yùn)動(dòng)支架可以方便地更換望遠(yuǎn)鏡。