WaveMaster® Compact Reflex - 夏克·哈特曼傳感器對單透鏡表面形貌的測量
| WaveMaster® Compact Reflex使用其內(nèi)置反射式夏克·哈特曼傳感器，簡便、靈活地測量樣品的表面輪廓。 |  WaveMaster® Compact Reflef |
主要特點(diǎn)
*使用夏克·哈特曼傳感器快速測量表面輪廓；
*快速，簡單的更改裝置實(shí)現(xiàn)在不同測量范圍間的切換；
*高測量速度可以實(shí)現(xiàn)高樣品的通量；
*高精度四軸校準(zhǔn)樣品架，用于亞微米位置的調(diào)整；
*當(dāng)連續(xù)測量樣品時，只需對樣品進(jìn)行微小的調(diào)節(jié)即可；
*自動聚焦；
*波前傳感器和望遠(yuǎn)鏡在出瞳中自動定位；
*與主透鏡或設(shè)計文件的波前數(shù)據(jù)實(shí)時比較；
*具有不同數(shù)值的點(diǎn)光源（0.95）；
*防振式結(jié)構(gòu)，避免振動影響；
*功能完備的軟件；
應(yīng)用
| WaveMaster® Compact Reflex的應(yīng)用如下： *檢測球面、非球面、平面元件的表面面型； *測量半徑； |  |
用夏克·哈特曼傳感器測量曲面和半徑
WaveMaster® 軟件結(jié)構(gòu)清晰、易于使用，并包含很多功能，可用WaveMaster®儀器測量和分析樣品。
該軟件與夏克·哈特曼傳感器進(jìn)行通訊并實(shí)時分析測量的鏡片表面。此外，它可以控制WaveMaster®儀器。
該軟件的優(yōu)點(diǎn)
*菜單驅(qū)動的操作指導(dǎo)；
*簡單直觀的表面輪廓測量和分析；
*軟件包：數(shù)據(jù)收集、數(shù)據(jù)計算、校準(zhǔn)并顯示數(shù)據(jù)、實(shí)時分析；
*通過多重參數(shù)化表示表面面型；
*非球面方程；
*Zernike多項(xiàng)式；
*圓錐方程；
*球面方程；
*自由曲面；
*加載參考表面數(shù)據(jù)并在測量過程中進(jìn)行實(shí)時比較；
有關(guān)軟件的更多詳情
*基本功能；
*實(shí)時測量和分析波前；
*顯示；
*3D波陣面的2D - fringe和-Phase；
*PV和RMS；
*強(qiáng)度；
*傾斜度；
*相機(jī)圖像；
*和相對的測量模式；
*與主鏡頭或設(shè)計數(shù)據(jù)數(shù)據(jù)實(shí)時比較；
*波前和相機(jī)圖像平均；
*測量和分析區(qū)域的可調(diào)；
*可存儲的配置文件；
*證書；
*提供多個分析模塊；
*INSTRUMENT控制；
*自動對焦功能；
*自動尋找出瞳平面；
*自動樣品定位（可選）；
*使用預(yù)先設(shè)定的配置文件；
*REFLEX模塊；
*實(shí)時表面形貌分析；
*實(shí)時表面貼合；
*與參考數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；
*將參考數(shù)據(jù)輸入為系數(shù)；
*通過/未通過標(biāo)準(zhǔn)；
*圖形和數(shù)字顯示，擬合結(jié)果并與設(shè)計數(shù)據(jù)進(jìn)行比較；
| 測量配置 | -透鏡的表面面型測量 -鏡片模具和印章表面的測量 |
| 波長 | 365 nm，635 nm |
| 樣品架 | -單個底座 -手動定位 |
| 準(zhǔn)確性 | < 0.050 μm（RMS） |
| 重復(fù)性 | < 0.005 μm（RMS） |
| 動態(tài)范圍 | > 200 μm |
| 非球面(MAX)* | ≤ 7° |
| 測量頻率 | up to 12Hz |
| 橫向解決方案 | 138 x 138 |
| 樣品直徑 | 從0.5 mm 到 17 mm** |
| 樣本曲率半徑 | 從 - 20 mm 到 30 mm（-50 — -30或者其他）*** |
*局部偏離適合的球體；
**取決于曲率半徑和照明鏡頭；
***取決于照明鏡頭和樣品直徑；升級和配件
波前測量儀的特點(diǎn)是靈活的設(shè)計，可以使儀器適應(yīng)特定的應(yīng)用需求。借助以下附件和升級，WaveMaster系列的功能得到了擴(kuò)展。
波前傳感器
當(dāng)需要更高的動態(tài)范圍或精度時，可以更換WaveMaster儀器的波前傳感器，作為升級，所有可用的WaveMaster設(shè)備都可以實(shí)施到WaveMasterSensor儀器中，可根據(jù)要求提供更多的波前傳感器。
照明
具有不同波長和數(shù)值孔徑的光源可供選擇，數(shù)值孔徑之間的切換由于運(yùn)動學(xué)安裝而被簡化。
望遠(yuǎn)鏡
為了更大限度地利用傳感器的動態(tài)范圍，從而提供橫向分辨率。可以使用一套望遠(yuǎn)鏡。
根據(jù)樣品直徑和波前傳感器的尺寸，必須選擇放大倍率。運(yùn)動支架可以方便的更換望遠(yuǎn)鏡。
