WaveMaster® Plan - 平面元件的波前測量
| WaveMaster® Plan 用于光學(xué)平板或光楔等平面光學(xué)元件的質(zhì)量控制，系統(tǒng)利用內(nèi)置的夏克·哈特曼 波前傳感器透射式檢測光學(xué)波前。 |  WaveMaster Plan使用夏克·哈特曼傳感器測量平面元素 |
主要特點(diǎn)
*綜合分析平面光學(xué)元件；
*快速檢測樣品的產(chǎn)量；
*樣品架可保證亞微米范圍的校準(zhǔn)；
*更換樣品后，只需要進(jìn)行很小的調(diào)整；
*夏克·哈特曼傳感器具有高測量精度；
*與主透鏡或設(shè)計(jì)文件中波陣面的實(shí)時(shí)比較；
*準(zhǔn)直光源；
*防震設(shè)計(jì)；
*功能完備的軟件；
應(yīng)用
WaveMaster 透射式檢測平面元的光學(xué)波前面型的質(zhì)量。
基于夏克·哈特曼傳感器的波前測量
WaveSenso軟件控制WaveMaster 設(shè)備進(jìn)行檢測。它具有簡明清晰的操作界面。包含所有測量與分析的功能，軟件與夏克·哈特曼傳感器進(jìn)行通訊，能夠?qū)λ貌ㄇ皵?shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)分析。
軟件優(yōu)勢
*菜單指導(dǎo)用戶；
*簡單直觀的波前測量與分析；
*一個(gè)軟件包涵蓋功能：數(shù)據(jù)收集、計(jì)算、顯示、實(shí)時(shí)分析；
*可從ZEMAX和Code V加載理論值，并與實(shí)時(shí)測量結(jié)果相比較；
軟件詳細(xì)介紹
主要功能：
*實(shí)時(shí)顯示波前采集和分析；
*顯示：
*減少背景光線；
*波前、邊緣以及相位的2D或3D的實(shí)時(shí)顯示。
*峰谷和RMS的實(shí)時(shí)顯示；
*光強(qiáng)的實(shí)時(shí)顯示；
*傾斜度顯示；
*實(shí)時(shí)顯示照相機(jī)成像；
*導(dǎo)入波前理論數(shù)據(jù)與測量數(shù)據(jù)對比；
*或相對式測量；
*傾斜和散焦的實(shí)時(shí)修正；
*樣品調(diào)整工具（傾斜及位置調(diào)整）；
*生成證書；
*多種分析模塊可用；
MTF/PSF分析模塊
*MTF/PSF的實(shí)時(shí)計(jì)算與顯示；
*橫截面的實(shí)時(shí)顯示；
*便于導(dǎo)出測量結(jié)果；
*計(jì)算Strehl比率；
Zernike分析模塊
*實(shí)時(shí)Zernike擬合和波前數(shù)據(jù)分析；
*擬合結(jié)果的數(shù)字和圖形顯示；
*從ZEMAX和Code V導(dǎo)入理論波前數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)比較；
*將波前數(shù)據(jù)和分析結(jié)果導(dǎo)出為ASCII和ZEMAX格式；
*Zernike系數(shù)趨勢的顯示；
| 測量參數(shù) | *平面光學(xué)元件 *傳輸 |
| 樣品直徑* | 0.3 mm - 6 mm |
| 波長** | 365 nm - 1064 nm |
| 樣品架 | 單座 手動(dòng)定位 |
| 其他選擇 | 可升級(jí)為紫外 WS 150/WS 100 |
| 精度 | <λ / 20（RMS） |
| 重復(fù)率 | <λ / 200（RMS） |
| 動(dòng)態(tài)范圍 | > 1000 λ |
| 檢測頻率(MAX) | 16 Hz |
| 橫向分辨率 | 60 x 80 |
| 樣品直徑 | 從0.3 mm - 6 mm |
*取決于光管
**依用戶選擇
WaveMaster® Compact的升級(jí)和附件
波前傳感器的特點(diǎn)是靈活的設(shè)計(jì)，可以使用儀器適應(yīng)特定的應(yīng)用需求，借助以下附件和升級(jí)，WaveMaster系統(tǒng)的功能得到擴(kuò)展。
波前傳感器
當(dāng)需要更高的動(dòng)態(tài)范圍或精度時(shí)，可以更換WaveMaster儀器的波前傳感器，所有WaveMaster設(shè)備均可被升級(jí)到WaveMaster中。
照明
可升級(jí)為不同孔徑、不同波長的光源。更換快捷簡便。
光管
很大限度地利用傳感器的動(dòng)態(tài)范圍，獲得橫向分辨率。
依據(jù)樣品直徑和波前傳感器尺寸選擇放大倍率。更換快捷簡便。
