WaveMaster® Compact Universal - 用夏克·哈特曼傳感器進行波前和表面測量
| WaveMaster® Compact Universal使用內(nèi)置夏克·哈特曼傳感器投射、反射式檢測透鏡的光學波前。僅需要簡單的調(diào)整，即可使用一套系統(tǒng)完成波前和平面、球面、非球面元件的表面面型檢測。 |  |
主要特點
*一套系統(tǒng)完成波前和表面面型的檢測；
*針對量化生產(chǎn)的高速測量；
*可快速、簡單的更改裝置設(shè)置實現(xiàn)在不同測量范圍間的切換；
*高精度四軸校準樣品架，用于亞微米位置調(diào)整；
*當連續(xù)測量樣品時，只需對樣品進行微小的調(diào)節(jié)即可；
*自動聚焦；
*高精度；
*自動定位波前傳感器和光管；
*點光源，多種通光孔徑可選（MAX 0.95）；
*防振式結(jié)構(gòu)，避免振動影響；
*功能完備的軟件；
應(yīng)用
WaveMaster® Compact利用內(nèi)部的夏克·哈特曼波前傳感器檢測以下參數(shù)：
*面型（PV，RMS等）；
*Zernike系數(shù)；
*點擴散函數(shù)（PSF）；
*調(diào)制傳遞函數(shù)；
*斯特列爾比;
*楔角；
*平面、球面、非球面元件的表面面型；
*半徑
 |  |
基于夏克·哈特曼傳感器的波前測量
WaveMaster®軟件控制WaveMaster®設(shè)備進行檢測。它具有簡明清晰的操作界面，包含測量與分析的功能。軟件與夏克·哈特曼傳感器進行通訊，能夠?qū)λ貌ㄇ皵?shù)據(jù)進行實時分析。
軟件優(yōu)勢
*菜單指導用戶操作；
*簡單直觀的波前測量與分析；
*一個軟件包涵蓋所有功能，數(shù)據(jù)收集、計算、顯示、實時分析；
*通過多個參數(shù)表征表面面型；
*非球面方程；
*錐面方程；
*球面方程；
*自由曲面；
*可從ZEMAX和Code V加載理論值，并與實時測量結(jié)果相比較；
軟件詳細介紹
主要功能：
*實時波前采集和分析；
*顯示:
*波前、邊緣以及相位的2D或3D的實時顯示；
*峰谷和RMS的實時顯示；
*光強的實時顯示；
*傾斜度顯示；
*實時照相機成像；
*導入波前理論數(shù)據(jù)與測量數(shù)據(jù)對比；
*或相對式測量；
*樣品調(diào)整工具（傾斜及位置調(diào)整）；
*可存儲配置文件；
*生成證書；
*多種分析模塊可用；
MTF/PSF分析模塊
*MTF/PSF的實時計算和顯示；
*橫截面的實時顯示；
*便于導出測量結(jié)果；
*計算Strehl比率；
Zernike分析模塊
*系數(shù)的自由選擇，包括在分析過程中的輸入和刪除；
*實時澤爾尼克分析；
*Zernike系數(shù)的數(shù)字和圖形實時顯示；
*從ZEMA和Code V 導入波前理論數(shù)據(jù)與測量數(shù)據(jù)對比；
*導出波前數(shù)據(jù)和分析結(jié)果到ACSII和ZEMAX；
設(shè)備控制模塊
*自動對焦；
*自動尋找出瞳平面；
*自動樣品定位；
*使用預(yù)設(shè)置文檔；
反射模塊
*實時表面面型分析；
*實時表面擬合；
*可導入?yún)⒖紨?shù)據(jù)；
*可參考數(shù)據(jù)比較；
*可選擇“通過/未通過”標準；
*以數(shù)字和圖像顯示表面面型，擬合結(jié)果；
*自動半徑測量；
| 透射式 | |
| 測量配置 | 檢測光學波前 透射式 |
| 樣品直徑（1） | 0.5 mm - 14 mm |
| EFL（2） | -30 —— +100 mm |
| 波長（3） | 365 nm — 1064 nm |
| 樣品架 | 單座 手動定位 |
| 精度 | <λ / 20（RMS） |
| 重復率 | <λ / 200 （RMS） |
| 動態(tài)范圍 | 2000 λ |
| 檢測頻率 | 12Hz |
| 橫向分辨率 | 138 x 138 |
| 反射式 | |
| 測量配置 | 檢測擬合球體的曲率半徑 檢測光學波前 檢測透鏡模具 反射式 |
| 樣品直徑（4） | 0.5 mm —— 18 mm |
| 曲率半徑（5） | -50 —— +30 mm |
| 波長 | 365 nm，635 nm |
| 樣品架 | 單座 手動定位 |
| 精度 | < 0.05 μm（RMS） |
| 重復率 | < 0.05 μm（RMS） |
| 動態(tài)范圍 | > 200 μm |
| 非球面度（6） | ≤ 7° |
| 檢測頻率 | 12Hz |
| 橫向分辨率 | 138 x 138 |
（1）取決于光管
（2）取決于光源
（3）依照顧客選擇
（4）取決于曲率半徑和照明鏡頭
（5）取決于照明鏡頭和樣品直徑
（6）與擬合曲面的偏差
WaveMaster® Compact的升級與配件
WaveMaster® Compact靈活的設(shè)計可適應(yīng)特定的用戶需求。以下的配件與升級選項可擴展WaveMaster®系統(tǒng)的功能。
波前傳感器
當高更的動態(tài)范圍或精度時，WaveMaster®的波前傳感器能夠被更換。所有的WaveMaster®設(shè)備均可被升級到WaveMaster®中。
照明
可升級為不同孔徑、不同波長的光源。更換快捷簡便。
光管
限度地利用傳感器的動態(tài)范圍，獲得橫向分辨率；
依據(jù)樣品直徑和波前傳感器尺寸選擇放大倍率。更換快捷簡便。
