MBE系統(tǒng)

帶快速進樣室的獨立 MBE 系統(tǒng)

• 本底真空優(yōu)于2x10^-10mbar
• 4 軸操縱器，可直接連接電子光束加熱至 1200 °C 和 液氮LN₂冷卻
• Load-Lock進樣室與線性傳輸桿，使樣品夾具傳輸方便。最多可存儲6個樣品夾具。
• 沉積室包含用于 RHEED 槍、離子槍、光束通量監(jiān)視器、石英晶體天平等的端口。
• 可更換底部法蘭，帶專用起重推車
• 沉積室中可防止交叉污染

樣品沉積室配備了用于分析儀器等的其他端口。

根據(jù)蒸發(fā)源的類型和數(shù)量以及基板大小，可提供不同的標準襯底尺寸：直徑300mm、直徑450mm 和 直徑570mm（根據(jù)要求的其他尺寸）。