納米壓痕測(cè)試儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測(cè)試薄膜等材料在納米尺度上的接觸剛度、蠕變、彈性、塑性、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性。可適用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測(cè)分析，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料等。

長(zhǎng)春因賽圖精密儀器設(shè)備有限公司研發(fā)及生產(chǎn)的“精密原位納米壓痕測(cè)試儀”是在吉林大學(xué)相關(guān)科研成果的基礎(chǔ)上，針對(duì)*鋼鐵材料、航空航天等領(lǐng)域具體需求，凝練材料微觀力學(xué)性能原位測(cè)試關(guān)鍵技術(shù)，設(shè)計(jì)而成。該測(cè)試儀可在機(jī)械主體上集成高景深3D顯微成像組件、聲發(fā)射探傷元件等材料性能原位測(cè)試模塊，動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)在復(fù)雜物理場(chǎng)作用下材料變形、損傷的整個(gè)過程，進(jìn)而研究其微觀組織變化及性能演變規(guī)律，更加接近于材料在實(shí)際使用過程中所處的條件，與常規(guī)單一載荷和理想環(huán)境下壓痕測(cè)試儀相比，利用這種測(cè)試技術(shù)測(cè)量的材料力學(xué)性能數(shù)據(jù)更具有實(shí)際參考性，可以獲取材料對(duì)復(fù)雜載荷條件和物理環(huán)境的響應(yīng)特性，同時(shí)由于集成原位觀測(cè)技術(shù)，可以進(jìn)一步研究揭示材料的微觀變形、損傷機(jī)理，為從根源上解決材料的變形與失效提供依據(jù)，從而為材料的設(shè)計(jì)和使用提供指導(dǎo)。

圖1：精密原位納米壓痕測(cè)試儀

特點(diǎn)：
  采用壓電致動(dòng)器的載荷裝置保證測(cè)量的精確度
  壓電致動(dòng)器作為壓痕測(cè)試的精密驅(qū)動(dòng)加載，可大行程壓痕驅(qū)動(dòng)
  在有隔振臺(tái)、無恒溫措施的實(shí)驗(yàn)環(huán)境下，壓痕測(cè)試模塊的載荷分辨率優(yōu)于100nN，位移分辨率為0.05nm
  壓痕測(cè)試模塊具有良好的重復(fù)性和測(cè)試精度
  載荷加載范圍大，可實(shí)現(xiàn)1N～50N載荷的加載
  配備控制主機(jī)，專用檢測(cè)控制系統(tǒng)與配套分析處理軟件
  軟件包括實(shí)時(shí)顯示測(cè)試過程中位移和載荷信號(hào)變化，并能夠從中提取信號(hào)波動(dòng)大小、顯示生成實(shí)驗(yàn)曲線等功能
  可測(cè)量壓入載荷-壓入深度曲線、材料硬度、彈性模量等基本參量

技術(shù)指標(biāo)：
  載荷力：5N、25N、50N（系列）
???????  載荷分辨率：100nN    
???????  試驗(yàn)力范圍：2% ～ 99% FS
???????  力測(cè)量精度：±1%
???????  壓痕深度：500μm、毫米級(jí)（系列）
???????  位移分辨率：0.05nm
???????  樣品尺寸：毫米級(jí)