E系列手動探針臺

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更新時間：2024-03-30 14:14:53瀏覽次數(shù)：218次

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北京東方中科集成科技股份有限公司

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產(chǎn)品簡介

E系列是一款功能進階級探針臺，能實現(xiàn)1μm以上的電極Pad測試，可通過較低的成本升級更多的測試功能。

詳細介紹

E系列是一款功能進階級探針臺，能實現(xiàn)1μm以上的電極Pad測試，可通過較低的成本升級更多的測試功能。

產(chǎn)品亮點

卡盤可升降調節(jié)，便于樣品快速分離探針
標配金相顯微鏡，達到1μm以上的Pad測試
可搭載激光器進行FA失效分析/激光切割
顯微鏡氣動式快速升降
便于更換顯微鏡和探針卡夾具
POMater自適應隔震底座
采用德國進口隔震材料，提高測試穩(wěn)定性

產(chǎn)品參數(shù)

型號		E4	E6	E8	E12
外形（長寬高/mm）		680670760mm	680670760mm	750670800mm	1030800850mm
重量（KG）		約90kg	約95kg	約110kg	約210kg
電力需求		220VC,50~60Hz
卡盤常溫標準	卡盤尺寸	4"	6"	8"	12"
	樣品固定方式	環(huán)形及多孔真空吸附（可定制）
	背電極測試功能	有，樣品臺電學獨立懸空
	卡盤材質	316#不銹鋼（可選黃銅鍍鎳or鍍金）
卡盤移動平臺	Theta行程	360°旋轉（粗調）；可旋轉微調，微調精度0.002°
	卡盤升降	卡盤臺可以上下快速升降5mm，微調升降行程6mm，精度1μm
	X-Y行程	100*100mm	150*150mm	200*200mm	300*300mm
	移動精度	10μm
	卡盤快速拉出	N/A
	控制方式	小型旋鈕驅動
針座平臺	外形尺寸	長550mm*寬405mm		長720mm*寬405mm	長980mm*寬480mm
	卡盤到平臺距離	8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面）?
	針座數(shù)量	最多可放6個針座	最多可放8個針座		最多可放10個針座
	針座平臺升降	N/A
	針座定位方式	磁力吸附或真空吸附
光學特性	鏡頭規(guī)格	標配PSM-1000金相顯微鏡/可選（GX-6金相，體視，視頻）顯微鏡
	放大倍數(shù)	20-2000X
	CCD像素	3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字）
	運動控制	Z 軸移動行程 50.8 mm，同軸旋鈕調節(jié)，細調精度優(yōu)于1μm
	顯微鏡行程	顯微鏡2英寸XY平移臺范圍內(nèi)移動
	顯微鏡移動精度	1μm
點針規(guī)格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
	機械精度	10μm/2μm/0.7μm
	漏電精度	10pA/100fA （配置屏蔽箱時）
	接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口