M系列手動探針臺

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更新時間：2024-03-30 14:12:16瀏覽次數(shù)：204次

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北京東方中科集成科技股份有限公司

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商鋪產(chǎn)品：1495條

所在地區(qū)：北京北京市

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產(chǎn)品簡介

如果您的測試PAD大于30μm，M系列則是您在實驗室中的優(yōu)選設(shè)備之一

詳細(xì)介紹

“如果您的測試PAD大于30μm，M系列則是您在實驗室中的優(yōu)選設(shè)備之一”

型號		M4	M6 mini	M6
外形（長寬高）		650490620mm	650490620mm	650490620mm
重量（KG）		約45kg	約47kg	約52kg
電力需求		220VC,50~60Hz
卡盤常溫標(biāo)準(zhǔn)	卡盤尺寸	4"	6"	6"
	樣品固定方式	環(huán)形及多孔真空吸附（可定制）
	背電極測試功能	有/樣品臺電學(xué)獨立懸空
	卡盤材質(zhì)	316#不銹鋼（可選黃銅鍍鎳or鍍金）
卡盤移動平臺	X-Y行程	100*100mm	100*100mm	150*150mm
	移動精度	10μm
	Theta行程	360°旋轉(zhuǎn)（粗調(diào)）；可旋轉(zhuǎn)微調(diào)，微調(diào)精度0.002°
	卡盤升降	N/A
	卡盤快速拉出	N/A
	控制方式	小型旋鈕驅(qū)動
針座平臺	平臺尺寸	長540mm*寬310mm
	卡盤到平臺距離	8mm（卡盤上表面與針座平臺下表面）
	針座數(shù)量	最多可放置6針座（DC×6/RF×4,DC×2)
	針座平臺升降	N/A
	針座定位方式	磁力吸附或真空吸附
光學(xué)特性	顯微鏡規(guī)格	標(biāo)配體視顯微鏡（可選配視頻顯微鏡）
	放大倍數(shù)	16~100X
	CCD像素	3種CCD可選:200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字）/650W（數(shù)字）
	顯微鏡控制行程	顯微鏡調(diào)焦架控制可360度旋轉(zhuǎn)，Z軸：50.8mm
	顯微鏡移動精度	N/A
	鏡頭切換方式	N/A
點針規(guī)格	X-Y-Z行程	12mm-12mm-12mm
	機械精度	10μm/2μm/0.7μm
	漏電精度	10pA/100fA （配置屏蔽箱時）
	接口形式	香蕉頭/鱷魚夾/同軸/三軸接口