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簡(jiǎn)介
新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對(duì)晶圓工業(yè)對(duì)于設(shè)備尺寸和指標(biāo)的需求變化而特殊設(shè)計(jì)的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動(dòng)變送器，多路安裝在半導(dǎo)體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應(yīng)zui末端，用來監(jiān)測(cè)超純惰性氣體的應(yīng)用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復(fù)雜，涉及到很多分支、節(jié)點(diǎn)和使用點(diǎn)。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測(cè)點(diǎn)后，會(huì)由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設(shè)計(jì)、元件故障或過程出錯(cuò)等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應(yīng)指示，在 20 ppb 濕氣級(jí)別下 1 ppb 的異動(dòng)的響應(yīng)時(shí)間小于1 分鐘。
亮點(diǎn)
對(duì) ppb 級(jí)別濕度異動(dòng)的快速響應(yīng) 低濕 ppb 級(jí)別的靈敏度（<1 ppb）多點(diǎn)測(cè)量安裝的全新概念維護(hù)要求低信號(hào)燈式的狀態(tài)指示可設(shè)置警告和報(bào)警點(diǎn) Modbus 網(wǎng)絡(luò)兼容遠(yuǎn)程控制界面的多通道軟件（UHP）超純氣體的管線檢測(cè)
技術(shù)指標(biāo)
響應(yīng)速度	<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動(dòng)1 ppb 的響應(yīng)時(shí)間
濕度量程	1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍	0 to 10 bar
耐壓等級(jí)	300 bar
泄漏測(cè)試	0-9 mbar l/s
工作流量范圍	1 ~ 10 l/min
工作溫度	5 ~ 40°C
存儲(chǔ)溫度	30 ~ 70°C
電源	20 ~ 28 V DC
功耗	5 W zui大
外部保險(xiǎn)絲等級(jí)	500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出	Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報(bào)警輸出	2 路
zui大電壓	40 V DC
zui大電流	100 mA
氣體接觸的材質(zhì)
外殼材質(zhì)	不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu)	氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護(hù), 下層鋁層
內(nèi)部容積	4.4cm³
重量	450g
氣路接口	1/4" m VCR
電氣接口	9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性	EN50081-2 和 EN50082-2