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INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼復合真空計(大氣壓至超高真空真空計)
INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼復合真空計 BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和皮拉尼兩種真空計的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5×10-10 mbar至大氣壓（3.8×10-10 Torr 至大氣壓）。多項技術相結合降低了安裝、設置和集成的復雜性。為負擔不重且可重復的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 BPG402-S，以經(jīng)濟高效的方式執(zhí)行基本壓力測量。傳感元件帶有板載校準數(shù)據(jù)，保證更換傳感器時的高再現(xiàn)性。
這種 Bayard 熱電離（雙絲極）皮拉尼結合真空計 BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列熱電離皮拉尼發(fā)射器：
好處
從 5 x 10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍
在 10-8 ...10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復性
皮拉尼聯(lián)鎖保護絲極，防止過早燒毀
雙長使用壽命氧化釔銥絲
備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口
高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預
傳感元件帶有板載校準數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性
符合 RoHS 標準
新！ 現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口！
對半導體過程和傳輸腔室的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
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