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廣州元升科技有限公司


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晶圓搬送機(jī)AL120-12

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地廣州市

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更新時間:2025-03-17 08:48:09瀏覽次數(shù):201次

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經(jīng)營模式:其他

商鋪產(chǎn)品:33條

所在地區(qū):廣東廣州市

產(chǎn)品簡介

AL120-12晶圓搬送機(jī)對應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查

詳細(xì)介紹

AL120-12晶圓搬送機(jī)對應(yīng)可使用FOUP(裝載口)和FOSB,適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計確保了操作人員在搬送晶圓時(包括薄晶圓和變形晶圓)的效率和安全。

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計,操作方便

  • 可以自由設(shè)置的檢查模式,在設(shè)計上考慮了后道工程中的操作性,尤為重視設(shè)備的操作簡便性。
  • 分別對應(yīng)FOUP(Load Port)和FOSB的兩種機(jī)型。

堅固、可靠和安全傳送

  • 延續(xù)了上一代機(jī)型的堅固性、可靠性和安全性,能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
  • 薄片,Warped晶圓皆能安全搬送。
  • 宏觀觀察位置的化和操作單元的集中排列,提高了設(shè)備的操作舒適性。
自動300 mm晶圓搬送機(jī) AL120-12 規(guī)格
AL120-LMB12-LP3 AL120-LMB12-F
晶圓尺寸 300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可選:200 mm
卡盒 ●FOUP(Front Opening Unified Pods)前開門標(biāo)準(zhǔn)夾 
●SEMI:E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 
●FIMS-FOSB, FOSB
●FOSB(Front Opening Shipping Box)前開門搬運(yùn)盒 
●SEMI:M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù) 單盒(裝載、卸載兼用)
卡盒設(shè)置高度 900 mm
裝載端口
搬運(yùn)順序 表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式 全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準(zhǔn) 非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運(yùn)方式 真空吸附機(jī)械搬運(yùn)
適用顯微鏡 半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61L
應(yīng)用環(huán)境 AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67~-80 Kpa 
壓縮空氣0.5MPa~0.6MPa
AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz 
真空-67~-80 Kpa
載物臺 XY手動吸附載物臺,有XY粗調(diào)/微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
重量(不包括顯微鏡) 約360 kg 約270 kg

關(guān)鍵詞:標(biāo)準(zhǔn) 顯微鏡
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