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多功能。監(jiān)控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER氣體編輯器確定自己的氣體組成。連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的質(zhì)量流......

詳細介紹

性能

可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標簽）
可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
標準精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復性：0.2%滿量程
標準質(zhì)量流量控制器響應時間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無需預熱時間

工作條件

兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）

包裝清單

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準證書
艾里卡特操作說明書

配件（需另行訂購）

過程端口接頭和過濾器
電源
通訊線纜和轉(zhuǎn)換線纜
BB3和BB9多點式集線盒
Flow Vision軟件

查找配件

型號變體

低壓損型號，最多60 psia（MCW系列）
高壓型號，160-320 psia（MCQ系列）
閥門內(nèi)置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
配備氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

閥門選項

您可以為您的MC系列氣體質(zhì)量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

MC系列—選配小型比例控制閥，適用于20 slpm及以下量程
具有PCA名稱的MC系列—選配高性能比例控制閥，適用于壓力較高的某些應用
MCP系列—選配孔徑的小型比例控制閥（對耐腐蝕系列產(chǎn)品不適用）
MCH系列—選配錘頭狀配置，將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門。
MCR系列—選配幾乎無摩擦的大型Rolamite比例閥，適用于50 slpm及以上流量

腐蝕性氣體（MCS系列）

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器中，還有適用于腐蝕性氣體的“S"系列配置（即MCS系列）可供選擇。該配置中，我們將閥門升級為303不銹鋼閥門，傳感器升級為316L不銹鋼傳感器，彈性體材料升級為FFKM。對于某些腐蝕性氣體的整個流程，需采用316L不銹鋼，在這種情況下，我們可以同時將滿量程為20slpm或更小流量計的閥門（PCA型）和流量儀表主體部分升級為316L材質(zhì)。

結(jié)構(gòu)選項

通訊協(xié)議（模擬通訊，RS-232、RS-485、DeviceNet、EtherCAT、以太網(wǎng)/IP、Modbus RTU或TCP/IP、PROFIBUS）
顯示屏（單色或彩色，內(nèi)置或面板安裝）
工藝連接件（NPT、SAE、AN、BSPP/G、焊接壓縮或VCR/VCO接頭）
彈性體材料（氟橡膠、FFKM、EPDM、硅樹脂）

性能選項

流量累加器
集成式電位計控制
高精度或自定義校準

查看所有選擇項目

艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。

MC-0.5SCCM-D
MC-1SCCM-D
MC-2SCCM-D
MC-5SCCM-D
MC-10SCCM-D
MC-20SCCM-D
MC-50SCCM-D
MC-100SCCM-D
MC-200SCCM-D
MC-500SCCM-D
MC-1SLPM-D
MC-2SLPM-D
MC-5SLPM-D
MC-10SLPM-D
MC-20SLPM-D

艾里卡特MCP系列氣體質(zhì)量流量控制器采用孔徑的小型閥門，適用于非腐蝕性氣體。

MCP-10SLPM-D
MCP-20SLPM-D
MCP-50SLPM-D
MCP-100SLPM-D
MCP-250SLPM-D

艾里卡特MCH系列氣體質(zhì)量流量控制器將兩個小型閥門并排成對，用作一個閥門，適用于非腐蝕性氣體。

MCH-10SLPM-D
MCH-20SLPM-D
MCH-50SLPM-D
MCH-100SLPM-D
MCH-250SLPM-D
MCH-500SLPM-D

MCPH-50SLPM-D
MCPH-100SLPM-D
MCPH-250SLPM-D

艾里卡特MCR系列氣體質(zhì)量流量控制器采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門，可選用各種孔徑，實現(xiàn)對較大流量的控制，適用于非腐蝕性氣體。

MCR-50SLPM-D
MCR-100SLPM-D
MCR-250SLPM-D
MCR-500SLPM-D
MCR-1000SLPM-D
MCR-1500SLPM-D
MCR-2000SLPM-D-PAR
MCR-3000SLPM-D-PAR
MCRH-5000SLPM-D-PAR

艾里卡特MCS系列氣體質(zhì)量流量控制器采用小型比例閥門控制較小的流量，適用于腐蝕性氣體。

MCS-0.5SCCM-D
MCS-1SCCM-D
MCS-2SCCM-D
MCS-5SCCM-D
MCS-10SCCM-D
MCS-20SCCM-D
MCS-50SCCM-D
MCS-100SCCM-D
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MCS-500SCCM-D
MCS-1SLPM-D
MCS-2SLPM-D
MCS-5SLPM-D
MCS-10SLPM-D
MCS-20SLPM-D

艾里卡特MCHS系列氣體質(zhì)量流量控制器適用于腐蝕性氣體，將兩個閥門并排成對，用作一個閥門，實現(xiàn)對高壓應用的更強大控制。

MCHS-10SLPM-D
MCHS-20SLPM-D
MCHS-50SLPM-D
MCHS-100SLPM-D
MCHS-250SLPM-D
MCHS-500SLPM-D

艾里卡特MCRS系列氣體質(zhì)量流量控制器適用于腐蝕性氣體，采用幾乎無摩擦的Rolamite閥門，可選用各種孔徑，實現(xiàn)對較大流量的控制。

MCRS-50SLPM-D
MCRS-100SLPM-D
MCRS-250SLPM-D
MCRS-500SLPM-D
MCRS-1000SLPM-D
MCRS-1500SLPM-D
MCRS-2000SLPM-D-PAR
MCRS-3000SLPM-D-PAR
MCRHS-5000SLPM-D-PAR

氣體噴射控制pH值

在跨度極寬的量程范圍內(nèi)迅速調(diào)整并控制質(zhì)量流量以符合不斷變化的應用需要。根據(jù)PLC或PC的數(shù)字反饋，實時更改流量設(shè)定值，保持氣體質(zhì)量流量控制器過程工藝條件。

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自定義氣體混合系統(tǒng)

艾里卡特的質(zhì)量流量控制器非常適用于構(gòu)建自定義氣體混合系統(tǒng)；在這種類型應用中，可充分發(fā)揮氣體質(zhì)量流量控制器固有的靈活性和適應性。

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高溫質(zhì)量流量控制

艾里卡特的遠程電子器件選項將電子器件與傳感器和氣體質(zhì)量流量控制器主體部分分隔開來。這允許流動的高溫氣體通過氣體質(zhì)量流量控制器的主體部分，且不會使控制器電子器件超出其設(shè)計溫度。

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關(guān)鍵詞：標準質(zhì)量流量控制器氣體質(zhì)量流量控制器過濾器截止閥

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