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XQ15-GⅢ 實用型激光平面干涉儀

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產品簡介

XQ15-GⅢ實用型激光平面干涉儀號：.4用途和特點：　　在保留XQ15-GⅠ激光平面干涉儀的用途及特點的狀況下，更具實用性，可更廣泛適用于大批量生產單位的生產車間

詳細介紹

XQ15-GⅢ 實用型激光平面干涉儀

號：.4

用途和特點：
　　在保留XQ15-GⅠ激光平面干涉儀的用途及特點的狀況下，更具實用性，可更廣泛適用于大批量生產單位的生產車間。檢驗車間的平面度、微小楔角測量，更適合于大平板生產流水線快速篩選的應用。

技術參數：

標準平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標準平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準直系統(tǒng)----------------－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm
光源規(guī)格----------------－激光ZN18(He-Ne)
干涉室尺寸----------------530×270×150mm

關鍵詞：標準

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