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行業(yè)產(chǎn)品

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pgaTOF過程氣體分析儀

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地南京市

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更新時(shí)間：2022-04-29 17:03:08瀏覽次數(shù)：195次

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經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：4條

所在地區(qū)：江蘇南京市

聯(lián)系人：銷售 （銷售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

提供半導(dǎo)體關(guān)鍵制程中氣體組分的高靈敏度實(shí)時(shí)分析半導(dǎo)體研發(fā)和制造中干濕蝕刻，薄膜沉積和光刻制程中間氣體分析儀

詳細(xì)介紹

 pgaTOF過程氣體分析

 
pgaTOF質(zhì)譜儀通過目標(biāo)氣體分析，致力于關(guān)鍵半導(dǎo)體應(yīng)用運(yùn)行條件監(jiān)控和調(diào)整優(yōu)化
 
適用于多種半導(dǎo)體應(yīng)用場(chǎng)景反應(yīng)器健康狀態(tài)（RHS）監(jiān)控，反應(yīng)終點(diǎn)監(jiān)測(cè)，等離子體診斷和過程優(yōu)化
快速靈敏質(zhì)譜監(jiān)控技術(shù) 飛行時(shí)間（TOF）質(zhì)譜分析儀以‘亞’秒級(jí)采集效率進(jìn)行全物種全譜檢測(cè)
寬動(dòng)態(tài)響應(yīng)范圍 瞬時(shí)全譜檢測(cè)制程反應(yīng)過程中所有前體物，中間和最終產(chǎn)物以及其他雜質(zhì)。
高可靠性，高移動(dòng)性 靈活且結(jié)實(shí)的儀器設(shè)計(jì)和裝保證了在挑戰(zhàn)性運(yùn)行環(huán)境下的高精度和便攜性
長(zhǎng)期穩(wěn)定性 精確且高重復(fù)性的儀器響應(yīng)
強(qiáng)大分析軟件 易上手的操控界面，功能齊全的系統(tǒng)集成API接口
‘陷波’技術(shù)有效壓制儀器背景信號(hào) 精確衰減特定信號(hào)值，減少對(duì)有效信號(hào)干擾
 
pgaTOF性能指標(biāo)
  •   抗腐蝕版本* 任意方向安裝及運(yùn)行

    質(zhì)量分辨率

    M/ΔM

    		 靈敏度
    cps/ppb    		 檢測(cè)限
    ppb/s    		 尺寸
    kg | cm
    pgaTOF 2R yes yes 8000 >10 <1 160 | 148 x 48 x 62
    pgaTOF R no* yes 4000 >10 <1 85 | 90 x 40 x 53
    pgaTOF S2 yes yes 800 >10 <1 93 | 112 x 47 x 47

    *corrosion resistant version readily available

關(guān)鍵詞：質(zhì)譜儀
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