MKS640流量計   深圳市天鉉真空技術有限公司

CTI On Board低溫泵（冷凝泵）具有無油, 對所有氣體的抽速都較大, 特別是對水蒸汽、H2 等抽速很大, 適應性強, 制冷機低速運行, 且運動部件很少, 有利于長期可靠運行等優(yōu)點。因而, 低溫泵(冷凝泵)被廣泛應用于IC生產工藝中的蒸發(fā)、濺射、離子注入、分子束外延以及其它諸如高能粒子加速器、受控熱核反應、電真空器件、材料科學、表面分析儀器等領域, 以此來獲得清潔的高真空或超高真空。