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SEC-Z512X 和 SEC-Z522X 數(shù)字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于50slm N2 標稱流量.
SEC-Z532X 和 SEC-Z542X數(shù)字式 / 模擬式質量流量控制器, 適用于200slm N2 標稱流量.
SEC-Z514X 和 SEC-Z524X Devicenet™ 質量流量控制器, 適用于 50slm N2 標稱流量.
SEC-Z534X 和 SEC-Z544X Devicenet™質量流量控制器, 適用于 200slm N2 標稱流量.
質量流量計是半導體制造設備中非常關鍵的零部件。它的工作穩(wěn)定與否往往成為半導體制程成敗的關鍵因素。
HORIBA STEC, 作為范圍內*超過35%*1的流量計生產商, 長期以來始終如一的為半導體工業(yè)提供高質量、多功能的產品。現(xiàn)在,手攜全新的技術,HORIBA STEC 正在向推廣新型的質量流量控制器: Z500系列。
相對于舊有的型號,Z500X 系列實現(xiàn)了全新的突破, 而且注定將改變流量控制技術的未來。在提供客戶所需流量控制的所有功能的同時, 實現(xiàn)了復合氣體、復合流量的轉換??蛻艨梢愿鶕瞥绦枰?,輕松地更改流量計氣體種類和量程*2。
此外,藉由產品材料的技術革新, Z500系列全面滿足了 RoHS 綠色產品的設計要求,為客戶提升產品價值。
高性能的Z500系列流量計,將帶給您更多驚喜。正見證著這一即將改變整個半導體工業(yè)的新型質量流量計的誕生。
*1 參考 VLSI's 2007 研究報告。
*2 復合氣體、復合流量功能。
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