產(chǎn)地 |
國(guó)產(chǎn) |
加工定制 |
否 |
顯示方式 |
其他 |
儀器種類 |
其他 |
HPC 1100高壓控制器壓縮空氣擴(kuò)散器采用了新的設(shè)計(jì)理念和技術(shù),與萊特浩斯0.1μm的粒子計(jì)數(shù)器配合,監(jiān)測(cè)高壓環(huán)境(30到150PSI)下的惰性氣體系統(tǒng)的工業(yè)氣體污染。
HPC 1100高壓控制器壓縮空氣擴(kuò)散器
HPC 1100高壓控制器采用了新的設(shè)計(jì)理念和技術(shù),與萊特浩斯0.1μm的粒子計(jì)數(shù)器配合,監(jiān)測(cè)高壓環(huán)境(30到150PSI)下的惰性氣體系統(tǒng)的工業(yè)氣體污染。 HPC 1100高壓控制器的不銹鋼外殼堅(jiān)固耐用,幾乎不需要日常維護(hù)和校準(zhǔn). |
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Features | Benefits | Applications | - Supports 0.1μm at 1 CFM
- May be Used with Any Inert Gas
- Easy Set Up
- Simple Installation
- Front-mounted Flow Gauge
- Intuitive User Control
- Quiet Operation
- Fast Purge and Cleanup
- VCR Fittings Internally and Externally
- Stainless Steel Construction
| - Zero Gas Waste During Normal Operation
- Output at Near Atmospheric Pressure
- Low Noise
- Small Footprint
- Easy System Integration
- 2 Year Warranty
International Sales and Service Support - Low Cost of Ownership
| - Process Qualification
- Semiconductor Process Monitoring
- Flat Panel Process Monitoring
- Process Trend Analysis
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技術(shù)參數(shù):粒徑范圍 | 0.1μm或更大 | 流速 | 1.0CFM | 出口壓力 | 接近大氣壓 | 入口壓力 | 30到150PSI | 采樣氣體 | 氮?dú)狻鍤?、氦氣、清潔干燥空氣(CDA) | 運(yùn)行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 元件材質(zhì) | 316L不銹鋼、 Hastelloy、PCTFE | 尺寸 | 5.61" (w) x 7.57"(h) x 10.32" (d) [14.22x19.30x26.21cm] | 重量 | 6 lbs(2.7kg) | 配件: 隨機(jī)配件:HPC 1100高壓控制器壓縮空氣擴(kuò)散器采樣管、 VCR密封件、尼龍螺母和墊圈 備選項(xiàng):采樣管、1/4"母接口、1/4"不銹鋼過濾器(0.5μm,2μm,7μm,15μm) |
技術(shù)參數(shù):粒徑范圍 | 0.1μm或更大 | 流速 | 1.0CFM | 出口壓力 | 接近大氣壓 | 入口壓力 | 30到150PSI | 采樣氣體 | 氮?dú)?、氬氣、氦氣、清潔干燥空氣(CDA) | 運(yùn)行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 元件材質(zhì) | 316L不銹鋼、 Hastelloy、PCTFE | 尺寸 | 5.61" (w) x 7.57"(h) x 10.32" (d) [14.22x19.30x26.21cm] | 重量 | 6 lbs(2.7kg) | 配件: 隨機(jī)配件:采樣管、 VCR密封件、尼龍螺母和墊圈 備選項(xiàng):采樣管、1/4"母接口、1/4"不銹鋼過濾器(0.5μm,2μm,7μm,15μm) |
技術(shù)參數(shù):粒徑范圍 | 0.1μm或更大 | 流速 | 1.0CFM | 出口壓力 | 接近大氣壓 | 入口壓力 | 30到150PSI | 采樣氣體 | 氮?dú)狻鍤?、氦氣、清潔干燥空氣(CDA) | 運(yùn)行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 元件材質(zhì) | 316L不銹鋼、 Hastelloy、PCTFE | 尺寸 | 5.61" (w) x 7.57"(h) x 10.32" (d) [14.22x19.30x26.21cm] | 重量 | 6 lbs(2.7kg) | 配件: 隨機(jī)配件:采樣管、 VCR密封件、尼龍螺母和墊圈 備選項(xiàng):采樣管、1/4"母接口、1/4"不銹鋼過濾器(0.5μm,2μm,7μm,15μm) |
技術(shù)參數(shù):粒徑范圍 | 0.1μm或更大 | 流速 | 1.0CFM | 出口壓力 | 接近大氣壓 | 入口壓力 | 30到150PSI | 采樣氣體 | 氮?dú)?、氬氣、氦氣、清潔干燥空氣(CDA) | 運(yùn)行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 元件材質(zhì) | 316L不銹鋼、 Hastelloy、PCTFE | 尺寸 | 5.61" (w) x 7.57"(h) x 10.32" (d) [14.22x19.30x26.21cm] | 重量 | 6 lbs(2.7kg) | 配件: 隨機(jī)配件:采樣管、 VCR密封件、尼龍螺母和墊圈 備選項(xiàng):采樣管、1/4"母接口、1/4"不銹鋼過濾器(0.5μm,2μm,7μm,15μm) |
技術(shù)參數(shù):粒徑范圍 | 0.1μm或更大 | 流速 | 1.0CFM | 出口壓力 | 接近大氣壓 | 入口壓力 | 30到150PSI | 采樣氣體 | 氮?dú)?、氬氣、氦氣、清潔干燥空氣(CDA) | 運(yùn)行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 元件材質(zhì) | 316L不銹鋼、 Hastelloy、PCTFE | 尺寸 | 5.61" (w) x 7.57"(h) x 10.32" (d) [14.22x19.30x26.21cm] | 重量 | 6 lbs(2.7kg) | 配件: 隨機(jī)配件:采樣管、 VCR密封件、尼龍螺母和墊圈 備選項(xiàng):采樣管、1/4"母接口、1/4"不銹鋼過濾器(0.5μm,2μm,7μm,15μm) |
技術(shù)參數(shù):粒徑范圍 | 0.1μm或更大 | 流速 | 1.0CFM | 出口壓力 | 接近大氣壓 | 入口壓力 | 30到150PSI | 采樣氣體 | 氮?dú)?、氬氣、氦氣、清潔干燥空氣(CDA) | 運(yùn)行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 元件材質(zhì) | 316L不銹鋼、 Hastelloy、PCTFE | 尺寸 | 5.61" (w) x 7.57"(h) x 10.32" (d) [14.22x19.30x26.21cm] | 重量 | 6 lbs(2.7kg) | 配件: 隨機(jī)配件:采樣管、 VCR密封件、尼龍螺母和墊圈 備選項(xiàng):采樣管、1/4"母接口、1/4"不銹鋼過濾器(0.5μm,2μm,7μm,15μm) |
技術(shù)參數(shù):粒徑范圍 | 0.1μm或更大 | 流速 | 1.0CFM | 出口壓力 | 接近大氣壓 | 入口壓力 | 30到150PSI | 采樣氣體 | 氮?dú)?、氬氣、氦氣、清潔干燥空氣(CDA) | 運(yùn)行噪音 | <60 db | 外殼 | 不銹鋼 | 元件材質(zhì) | 316L不銹鋼、 Hastelloy、PCTFE | 尺寸 | 5.61" (w) x 7.57"(h) x 10.32" (d) [14.22x19.30x26.21cm] | 重量 | 6 lbs(2.7kg) | 配件: 隨機(jī)配件:采樣管、 VCR密封件、尼龍螺母和墊圈 備選項(xiàng):采樣管、1/4"母接口、1/4"不銹鋼過濾器(0.5μm,2μm,7μm,15μm) |