納米壓印系統(tǒng)

Midas推出了一個臺式、獨立的納米壓印平臺。
該平臺提供了一個帶有微定位裝置的機械平臺，用于安裝納米壓印室、UV固化源和校準顯微鏡。

它既可以作為納米壓印系統(tǒng)，也可以作為傳統(tǒng)的掩模對準器，同時為您的整個壓印過程提供可編程的自動控制。


的特點：
?分辨率低于10nm，產(chǎn)率為99%
?支持硬模和軟模
?可變的模具和基板尺寸提供了的便利性和靈活性
?自動釋放過程可防止分離過程中模具/基板損壞，并限度地提高每個印記的產(chǎn)量
?自動釋放過程可防止分離過程中模具/基板損壞，并限度地提高每個印記的產(chǎn)量
?多種應用的多功能流程：
?光學設備、顯示器、數(shù)據(jù)存儲、生物醫(yī)學
?器件、半導體IC、化學合成和*材料
?帶觸摸屏用戶界面的可編程PLC允許通過定制參數(shù)進行過程控制
?UV固化納米壓印抗蝕劑對硬度或厚度沒有限制，與傳統(tǒng)光刻工藝兼容