勻膠機(jī)
勻膠機(jī)有很多種稱謂，英文叫Spin Coater或者Spin Processor，又稱甩膠機(jī)、勻膠臺(tái)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、旋轉(zhuǎn)薄膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂覆儀、旋轉(zhuǎn)涂膜儀、勻膜機(jī)，總的來說，他們原理都是一樣的，既在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。
勻膠機(jī)適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃及制版等表面涂覆工藝, 可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。勻膠機(jī)可以用于制作低于10nm厚度的薄膜,并且在清洗和刻蝕中也被廣泛使用。

由我司提供的勻膠機(jī),在高校、研究所及半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)享有很高的聲譽(yù),相信能滿足您多種不同應(yīng)用要求。

產(chǎn)地：韓國MIDAS公司，
型號：SPIN-1200T
廠家鏈接：.cn/

SPIN-1200T

觸摸面板控制，各種涂層溶液的緊湊單元，可編程配方管理，操作簡單

?勻膠機(jī)

?基板尺寸：小于等于4英寸

?轉(zhuǎn)速：300~7000 rpm（空載時(shí)），誤差小于3%（海外10000 rpm）

?菜單程序：50步，50個(gè)配方

?卡盤材料：改性鋁、縮醛

?碗尺寸：8英寸

?碗材料：聚丙烯

?尺寸（mm）230（寬）*340（深）*260（高）

應(yīng)用范圍：
可用于光刻膠(PR)，聚酰亞胺(Polyimide)，金屬有機(jī)物(Metallo-organics)，攙雜劑(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多數(shù)的有機(jī)溶液、水溶液；

全自動(dòng)的勻膠及顯影工藝必需的全自動(dòng)Chip生產(chǎn)設(shè)備：