• 流量響應(yīng)時間（完成時間）<0.75 s
• 創(chuàng)新型 MEMS 傳感器和*的 PID 算法
• 尺寸小巧，不足常規(guī)熱式MFC的 一半：1'' x 3''x 4'' (25 mm x 76 mm x 101 mm)
• 本地操作界面 (LOI) 選項可簡化設(shè)置和操作；免費提供 LabVIEW VI 下載以進行設(shè)備監(jiān)測和調(diào)零
• 通過 RS-232 實現(xiàn)數(shù)字化功能

優(yōu)勢

• 非常適用于各種常見的無腐蝕性氣體
• 響應(yīng)速度快，可在切換工藝配方時確保各步驟的迅速完成
• 非常適用于各 OEM：尺寸小巧，可輕松集成至緊湊的設(shè)備空間內(nèi)并有助于加快安裝
• 可選本地操作界面 (LOI) 是本地指示、設(shè)定值控制和設(shè)備配置的一站式解決方案；無需借助遠程二次儀表
• 擁有多種通信方式，可輕松滿足用戶需求

應(yīng)用

• 熱處理、切割/焊接等其他熱式工藝
• 太陽能/薄膜物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
• 用于測量和控制反應(yīng)物、校準和樣品氣體流量的分析設(shè)備