Brooks質(zhì)量流量計儀表應(yīng)用：

1.光端機。

2.LED/MOCVD。

3.半導(dǎo)體。

4.太陽能。

Brooks質(zhì)量流量計儀表特點：

1.長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 0.2%。

2.能夠根據(jù)命令變化在 3 秒內(nèi)完成設(shè)置并且過沖/下沖可忽略不計。

3.流量范圍寬 - 3 sccm 至高達 30,000 slpm。

4.高壓額定值 - 高達 1,500 psi。

5.可選增強型內(nèi)部后處理工藝 - 5? 英寸 Ra（平均值）。

6.可拆卸式流量傳感器。

7.不受安裝角度影響。

8.其他質(zhì)量流量控制器在機械和電氣設(shè)計方面兼容。

9.TTL 兼容型"閥關(guān)閉"和吹掃功能。

Brooks質(zhì)量流量計儀表優(yōu)勢：

1.全金屬流路可確保氣體純度并降低泄漏風(fēng)險。

2.在廣泛的工藝和應(yīng)用范圍內(nèi)擁有經(jīng)認(rèn)可的長期穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

3.由于性能可靠，因此投資回報率出眾。

4.采用可拆卸式流量傳感器，因此無需對氣壓進行連續(xù)監(jiān)測和重新調(diào)節(jié)。

5.由于模擬量僅為輸入/輸出，因此易于安裝和保養(yǎng)。