BROOKS 5850E質(zhì)量流量計(jì)能精確的測(cè)量和控制氣體流量。其核心是一個(gè)可拆卸的測(cè)量氣體流量的探頭，該探頭產(chǎn)生跟流量成線性比例的電輸出信號(hào)用來(lái)顯示、記錄和/或控制。該裝置不需要?dú)怏w壓力進(jìn)行連續(xù)的監(jiān)測(cè)和重新調(diào)整就可以提供穩(wěn)定的氣體流量。

BROOKS 5850E質(zhì)量流量計(jì)設(shè)計(jì)特性：

·易維護(hù)

·快速響應(yīng)設(shè)定變化

·可忽略過(guò)沖/下沖影響

·可拆除傳感器

·對(duì)安裝方位不要求

·較大的流量控制范圍（大可達(dá)30 sl/min N2）

·外置零點(diǎn)和量程調(diào)節(jié)電位器

·跳線可設(shè)定軟啟動(dòng)

·可設(shè)定外部電磁閥控制

·不要求中止流量

·常閉閥（可選常開(kāi)閥）

·可兼容其他流量控制器

·抗腐蝕