BROOKS SLA5853S型流量控制器能精確的測量和控制氣體流量。其核心是一個(gè)可拆卸的測量氣體流量的探頭，該探頭產(chǎn)生跟流量成線性比例的電輸出信號用來顯示、記錄和/或控制。該裝置不需要?dú)怏w壓力進(jìn)行連續(xù)的監(jiān)測和重新調(diào)整就可以提供穩(wěn)定的氣體流量。

設(shè)計(jì)特性：

·易維護(hù)

·快速響應(yīng)設(shè)定變化

·可忽略過沖/下沖影響

·可拆除傳感器

·對安裝方位不要求

·較大的流量控制范圍（大可達(dá)30 sl/min N2）

·外置零點(diǎn)和量程調(diào)節(jié)電位器

·跳線可設(shè)定軟啟動(dòng)

·可設(shè)定外部電磁閥控制

·不要求中止流量

·常閉閥（可選常開閥）

·可兼容其他流量控制器

·抗腐蝕

操作原理

BROOKS流量控制器運(yùn)用熱動(dòng)力學(xué)原理，一個(gè)有精確電源的加熱器為內(nèi)有連續(xù)穩(wěn)定氣流的

傳感器套管的中部加熱，在同一套管距加熱器等距的地方各有一個(gè)電阻性的溫度測量元件。

沒有氣流時(shí)，到達(dá)兩個(gè)溫度測量元件的熱量是相等的：有氣流時(shí)則氣流帶走熱量，兩溫度

測量元件就有了溫度差異，溫度差異的大小和流量的大小成正比。該溫度差異通過橋式電

路來反映，然后放大裝置，以0－5V的輸出電壓輸出到控制電路。

◎在無流量的情況下，熱量會均勻的分散在每個(gè)溫度元件中，隨著流量的增加，流體帶著

熱量從上游（該處溫度為T1）到達(dá)下游，則下游溫度上升（該處溫度為T2），不同的溫

度上升通過兩處元件顯示，這種差異均衡的計(jì)量了氣流或流速，電路顯示溫度的不同而

放大器提供輸出量給控制電路也就是0.5伏的輸出信號?？刂齐娐繁容^設(shè)定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2％時(shí)，控制閥*關(guān)閉，控制閥由它的控制

電路控制能*打開或關(guān)閉?！?/span>

控制電路比較設(shè)定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2％時(shí)，

控制閥*關(guān)閉，控制閥由它的控制電路控制能*打開或關(guān)閉。

!警告

請勿在超過如下規(guī)格書說明范疇外操作本儀器，忽視此警告可能造成一系列對該儀器的

損壞或損傷。

流量范圍

相當(dāng)于0－3 sccm到0－3000 sccm氮?dú)猓?/span>N2）的范圍

在SEMI（半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會）標(biāo)準(zhǔn)壓力和溫度（0oC和101kPa）條件下測得

注：滿程流量范圍大于50 sccm

性能：校準(zhǔn)后為滿量程±1％，大于20slpm時(shí)為滿量程±1.5％。

可重復(fù)性：0.25％

控制范圍：50：1

安裝狀態(tài)靈感度：復(fù)零后，比精確度誤差不到±0.5％量程。

溫度敏感度：零點(diǎn)：小于±0.075％量程每攝氏度

量程：比初校準(zhǔn)刻度小±1.0％量程（在10－50攝氏度）

壓力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)

輸出電壓：0－5伏直流（200K歐姆的輸出電阻）

輸出信號：輸出0－5伏直流到2000歐姆或更高的負(fù)荷

          輸出5±0.1伏直流（參考），大負(fù)荷2000歐姆

大操作壓力：1500psig ;5-50psid壓損（小壓損根據(jù)氣體和周圍環(huán)境具體而定）

溫度、外界/氣體：41－149oF（5－65oC）

*泄漏，外界：1×10^-9cc/s

功率要求：常閉閥（或常開閥/流量≤2.5slpm）

           3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常開閥/流量>2.5slpm

           10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

構(gòu)造材質(zhì)：

標(biāo)準(zhǔn)接液部分采用不銹鋼材質(zhì)，可供選擇的還有;Kalrez或Buna-N

連接：

硬件連接：標(biāo)準(zhǔn)9/16－18UNF不銹鋼壓力接頭(Swagelok)，可選：VCO或VCR

電氣連接：卡連接器（鍍金）或D型連接器（DA－15P）

布魯克斯儀器創(chuàng)始于1946年?？偛课挥诿绹e夕法尼亞州。布魯克斯儀器在工業(yè)儀表行業(yè)中位列*。2008年，曾作為500強(qiáng)及工業(yè)控制排名的艾默生（Emerson）集團(tuán)創(chuàng)始公司之一的布魯克斯儀器從艾默生公司中獨(dú)立出來。公司現(xiàn)在超過15個(gè)國家和地區(qū)擁有分支機(jī)構(gòu)和辦事處。我們研制、生產(chǎn)并銷售高性能的流量儀表儀器，廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥、采煉油、化工、醫(yī)療、分析儀器、半導(dǎo)體制造等等行業(yè)，以滿足這些行業(yè)日益增長的對工業(yè)儀表的精益求精的需求。我們通過對顧客需求的獨(dú)到見解，在業(yè)務(wù)網(wǎng)絡(luò)中為客戶提供便捷迅速的解決方案及集成應(yīng)用。布魯克斯的成就來源于我們在行業(yè)中逾60年的。

美國BROOKS布魯克斯公司熱式質(zhì)量流量計(jì)是為了滿足有關(guān)工藝過程中對測量精度、重復(fù)性和控制方面的要求而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質(zhì)量流量計(jì)通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產(chǎn)品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設(shè)計(jì)成質(zhì)量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容，安裝簡便。

常用型號有：5850E、5850I 、5851E,SLA5850S,SLA5851S,SLA5853S