BROOKS SLA5850S型流量控制器能精確的測(cè)量和控制氣體流量。其核心是一個(gè)可拆卸的測(cè)量氣體流量的探頭，該探頭產(chǎn)生跟流量成線性比例的電輸出信號(hào)用來顯示、記錄和/或控制。該裝置不需要?dú)怏w壓力進(jìn)行連續(xù)的監(jiān)測(cè)和重新調(diào)整就可以提供穩(wěn)定的氣體流量。

設(shè)計(jì)特性：

·易維護(hù)

·快速響應(yīng)設(shè)定變化

·可忽略過沖/下沖影響

·可拆除傳感器

·對(duì)安裝方位不要求

·較大的流量控制范圍（大可達(dá)30 sl/min N2）

·外置零點(diǎn)和量程調(diào)節(jié)電位器

·跳線可設(shè)定軟啟動(dòng)

·可設(shè)定外部電磁閥控制

·不要求中止流量

·常閉閥（可選常開閥）

·可兼容其他流量控制器

·抗腐蝕

操作原理

BROOKS流量控制器運(yùn)用熱動(dòng)力學(xué)原理，一個(gè)有精確電源的加熱器為內(nèi)有連續(xù)穩(wěn)定氣流的

傳感器套管的中部加熱，在同一套管距加熱器等距的地方各有一個(gè)電阻性的溫度測(cè)量元件。

沒有氣流時(shí)，到達(dá)兩個(gè)溫度測(cè)量元件的熱量是相等的：有氣流時(shí)則氣流帶走熱量，兩溫度

測(cè)量元件就有了溫度差異，溫度差異的大小和流量的大小成正比。該溫度差異通過橋式電

路來反映，然后放大裝置，以0－5V的輸出電壓輸出到控制電路。

◎在無流量的情況下，熱量會(huì)均勻的分散在每個(gè)溫度元件中，隨著流量的增加，流體帶著

熱量從上游（該處溫度為T1）到達(dá)下游，則下游溫度上升（該處溫度為T2），不同的溫

度上升通過兩處元件顯示，這種差異均衡的計(jì)量了氣流或流速，電路顯示溫度的不同而

放大器提供輸出量給控制電路也就是0.5伏的輸出信號(hào)。控制電路比較設(shè)定要求值和輸出流量信號(hào)，然后控制精確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2％時(shí)，控制閥*關(guān)閉，控制閥由它的控制

電路控制能*打開或關(guān)閉?！?/span>

控制電路比較設(shè)定要求值和輸出流量信號(hào)，然后控制精確電磁閥。當(dāng)設(shè)定值低于2％時(shí)，

控制閥*關(guān)閉，控制閥由它的控制電路控制能*打開或關(guān)閉。

!警告

請(qǐng)勿在超過如下規(guī)格書說明范疇外操作本儀器，忽視此警告可能造成一系列對(duì)該儀器的

損壞或損傷。

流量范圍

相當(dāng)于0－3 sccm到0－3000 sccm氮?dú)猓?/span>N2）的范圍

在SEMI（半導(dǎo)體設(shè)備和材料協(xié)會(huì)）標(biāo)準(zhǔn)壓力和溫度（0oC和101kPa）條件下測(cè)得

注：滿程流量范圍大于50 sccm

性能：校準(zhǔn)后為滿量程±1％，大于20slpm時(shí)為滿量程±1.5％。

可重復(fù)性：0.25％

控制范圍：50：1

安裝狀態(tài)靈感度：復(fù)零后，比精確度誤差不到±0.5％量程。

溫度敏感度：零點(diǎn)：小于±0.075％量程每攝氏度

量程：比初校準(zhǔn)刻度小±1.0％量程（在10－50攝氏度）

壓力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)

輸出電壓：0－5伏直流（200K歐姆的輸出電阻）

輸出信號(hào)：輸出0－5伏直流到2000歐姆或更高的負(fù)荷

          輸出5±0.1伏直流（參考），大負(fù)荷2000歐姆

大操作壓力：1500psig ;5-50psid壓損（小壓損根據(jù)氣體和周圍環(huán)境具體而定）

溫度、外界/氣體：41－149oF（5－65oC）

*泄漏，外界：1×10^-9cc/s

功率要求：常閉閥（或常開閥/流量≤2.5slpm）

           3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA

           常開閥/流量>2.5slpm

           10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA

構(gòu)造材質(zhì)：

標(biāo)準(zhǔn)接液部分采用不銹鋼材質(zhì)，可供選擇的還有;Kalrez或Buna-N

連接：

硬件連接：標(biāo)準(zhǔn)9/16－18UNF不銹鋼壓力接頭(Swagelok)，可選：VCO或VCR

電氣連接：卡連接器（鍍金）或D型連接器（DA－15P）

·         數(shù)字信號(hào)/模擬信號(hào)輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器

·         介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體

·         流量范圍:0.03-30slpm

·         量程比：50:1

·         大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)

·         氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG

·         電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge

·         精度:±1%FS

·         重復(fù)性：0.25% of rate

·         響應(yīng)時(shí)間：1-3s

·         差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質(zhì)、量程有關(guān)）

·         操作溫度范圍：5~65℃

·         輸出信號(hào)：0-5VDC或4-20mA