一、brooks氣體質(zhì)量流量計概覽

Brooks的數(shù)字與模擬熱式質(zhì)量流量控制器具有業(yè)界的性能—我們的許多產(chǎn)品都已連續(xù)工作了20年以上。我們的新型熱式質(zhì)量流量設(shè)備在響應(yīng)時間、精度、可重復(fù)性、調(diào)節(jié)比及自診斷方面均具有顯著的優(yōu)勢。

我們的熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品還通過了多種防護（IP）認(rèn)證，適用于多種危險場所。

二、brooks氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品特點

·         較低的泄漏率

·         結(jié)構(gòu)緊湊

·         內(nèi)螺紋排氣口拋光處理

·         常閉閥

·         對安裝位置不敏感

三、brooks氣體質(zhì)量流量計技術(shù)參數(shù)

·         數(shù)字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器

·         介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體

·         流量范圍:0.03-30slpm

·         量程比：50:1

·         大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)

·         氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG

·         電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge

·         精度:±1%FS

·         重復(fù)性：0.25% of rate

·         響應(yīng)時間：1-3s

·         差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質(zhì)、量程有關(guān)）

·         操作溫度范圍：5~65℃

·         輸出信號：0-5VDC或4-20mA

·         電源：+/-15V