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更新時間：2025-08-07 07:32:44瀏覽次數(shù)：3896次

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全部產(chǎn)品列表

產(chǎn)品簡介

材質(zhì)	不銹鋼	產(chǎn)地	進口
電壓等級	15-24VV	工作壓力	0-10Mpa
加工定制	否	精度等級	0.1
控制方式	手動	適用介質(zhì)	氣體
質(zhì)保	1年

氣路流量控制系統(tǒng)設(shè)備

布魯克斯/Brooks 氣體質(zhì)量流量控制器和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)

詳情介紹

氣路流量控制系統(tǒng)設(shè)備

•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補償）。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
氣路流量控制系統(tǒng)設(shè)備

•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）