布魯克斯儀器創(chuàng)始于1946年。總部位于美國賓夕法尼亞州。布魯克斯儀器在工業(yè)儀表行業(yè)中位列*。2008年，曾作為500強及工業(yè)控制排名的艾默生（Emerson）集團創(chuàng)始公司之一的布魯克斯儀器從艾默生公司中獨立出來。公司現(xiàn)在超過15個國家和地區(qū)擁有分支機構和辦事處。我們研制、生產并銷售高性能的流量儀表儀器，廣泛應用于醫(yī)藥、采煉油、化工、醫(yī)療、分析儀器、半導體制造等等行業(yè)，以滿足這些行業(yè)日益增長的對工業(yè)儀表的精益求精的需求。我們通過對顧客需求的獨到見解，在業(yè)務網絡中為客戶提供便捷迅速的解決方案及集成應用。布魯克斯的成就來源于我們在行業(yè)中逾60年的。

美國BROOKS布魯克斯公司熱式質量流量計是為了滿足有關工藝過程中對測量精度、重復性和控制方面的要求而設計的產品。它與傳統(tǒng)的體積流量儀器截然不同，BROOKS質量流量計通過被測氣體的比熱來測量流量，不受溫度、壓力變化的影響。因此該產品在各種不同的工作環(huán)境下均有較高的精度。被測流量可設計成質量或體積單位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT質量流量計產品都能同現(xiàn)有的工業(yè)儀表兼容，安裝簡便。

SLAMF60_防爆型數模橡膠密封質量流量計(30C51L)布魯克斯/Brooks氣體質量流量控制器和流量計廣泛應用于:真空鍍膜設備、光電產業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導體、燃料電池、氣調儲存保鮮相關設備、生物反應器、生物過程控制器、大學實驗室、研究所、食品及制藥產業(yè)、醫(yī)療設備、氣相色譜儀等相關行業(yè)。?數模橡膠密封;流量范圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)