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壓阻式壓力傳感器

壓阻式壓力傳感器

壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測(cè)壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號(hào)。中文名壓阻式壓力傳感器外文名Piezoresistivepressuresensor又稱擴(kuò)散硅壓力傳感器類型壓力式傳感器的一種核心部分N型的圓形硅膜片應(yīng)用航天、航空、航海、石油化工1壓阻式壓力傳感器應(yīng)用壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測(cè)量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布,測(cè)試發(fā)動(dòng)機(jī)詳情>>

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