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氣體質(zhì)量流量控制器

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用于氣體流量控制的設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）與氣體質(zhì)量流量計（MFM），MFC是帶有控制氣體質(zhì)量流量的裝置，而MFM是不具有控制氣體質(zhì)量流量功能的裝置。介紹MFC為MassFlowController的縮寫，即質(zhì)量流量控制。流體在旋轉(zhuǎn)的管內(nèi)流動時會對管壁產(chǎn)生一個力，它是科里奧利在1832年研究水輪機(jī)時發(fā)現(xiàn)的，簡稱科氏力。質(zhì)量流量計以科氏力為基礎(chǔ)，在傳感器內(nèi)部有兩根平行的T型振管，中部裝有驅(qū)動線圈，兩端裝有拾振線圈，變送器提供的激勵電壓加到驅(qū)動線圈上時，振動管作往復(fù)周期振動，工業(yè)過程的流體介質(zhì)流經(jīng)傳感器的振動管，就會在振管上產(chǎn)生科氏力效應(yīng)，使兩根振管扭轉(zhuǎn)振動，安裝在振管兩端的拾振線圈將產(chǎn)生詳情>>

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