產(chǎn)品介紹
該光學(xué)顯微鏡檢查設(shè)備主要應(yīng)用于LCD 、PDP 、PCB等相關(guān)光電產(chǎn)業(yè)，為其研發(fā)、品質(zhì)管控與不良分析提供必需的檢測設(shè)備 ?？蓪?yīng)觀察OLB壓接粒子分布、LCD面板異物/劃傷等不良，以及導(dǎo)電粒子粒徑測量等功能。
該產(chǎn)品的測量軟件高度集成了測量、缺陷分析、多軸運(yùn)動速度控制、以及光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、倍率調(diào)節(jié)、焦距自動調(diào)節(jié)等功能)，與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 工作臺尺寸 | 75 | 85 | 110 |
玻璃臺尺寸（mm） | 2090*1610 | 2480*1780 | 2880*2260 |
運(yùn)動行程（mm） | X:1820 Y:1220 | X:2240 Y:1240 Z:150 | X:2630 Y:1720 Z:200 |
調(diào)焦行程（mm） | Z:150 | Z:150 | Z:200 |
主顯微鏡系統(tǒng) | 三目觀察筒 目鏡：10倍 物鏡：2.5X、5X（BD）、10X（BD）、20X（BD）、50X（BD）觀察模式：反射、透射、偏光、明場、暗場、DIC 5孔電動物鏡轉(zhuǎn)換鏡 | ||
示值誤差 | 視視場內(nèi)：2μm；場外精度X/Y≤（3+L/200）μm， Z≤（5+L/200）μm | ||
照明系統(tǒng) | 鹵素?zé)舯砻婀釲ED | ||
| 操作臺 | 定制型操作臺 功能：啟動/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/ 電腦開關(guān)/破真空/倍率切換/三軸微調(diào)/電動偏光/電動DIC | ||
| 驅(qū)動系統(tǒng) | X/Y龍門直線電機(jī)雙驅(qū)，Z軸伺服電機(jī)驅(qū)動 | ||
| 工業(yè)相機(jī) | 傳感器類型：CMOS，全局快門 | ||
| 傳感器型號：IMX264 | |||
| 像元尺寸：3 . 45μmX 3 . 45 μm | |||
| 靶面尺寸：2/3” | |||
| 分辨率：2448*2048 | |||
| 幀率：23.27fps | |||
| 動態(tài)范圍：72dB | |||
| 信噪比：40.2dB | |||
| 黑白/彩色：彩色 | |||
| 外形尺寸（mm） 長X寬X高 | 4500*2500*1500 | ||
| 儀器重量（kg） | 8300 | ||
| 玻璃臺承重(kg） | 30 | ||
| 儀器電源 | 220V(AC) ±10% 50HZ | ||
| 運(yùn)行高度（mm） | 950 | ||
| 測量軟體 | 完整的畫面實(shí)時二維量測/自動保存圖片/錄像功能/ 實(shí)時坐標(biāo)定位/指定的Folder和Server上保存Image 支持多款控制器/支持多款工業(yè)相機(jī)/圖像掃描拼接 | ||
