產(chǎn)品介紹：
該顯微鏡檢測設備主要應用于O L E D 、AMO LED 、L CD 、PDP 、PCB等相關光電產(chǎn)業(yè)，為其研發(fā)、品質管控與不良分析提供必需的檢測設備 ?？蓪獪y量微小輪廓高度，觀察OLB壓接 粒子分布、異物／劃傷等不良，以及導電粒子粒徑測量等功能。
該設備的測量軟件高度集成了測量、缺陷分析，多軸運動速度控制，以及光學系統(tǒng)調節(jié)功 能（ 光源調節(jié) 、倍 率調節(jié) 、焦距自動調節(jié)等功能），與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動控制、人性化 操作等方面的優(yōu)勢。
產(chǎn)品參數(shù)：
工作臺尺寸 (mm) | 1280*1540 |
玻璃臺尺寸 (mm) | 1260*1460 |
運動行程 (mm) | X:1200 Y:800 (電動） |
調焦行程 (mm) | Z軸150(電動） |
主顯微鏡系統(tǒng) | 反射式共焦激光掃描顯微鏡激光：光電倍增管（2通道） 彩色：CMOS彩色相機 |
示值誤差(um) | 視場外精度 X/Y小于等于(3+L/200), Z小于等于(5+L/200) |
照明系統(tǒng) | 觀察顯微鏡：LED表面光及輪廓光 |
操作臺 | 功能：啟動/急停/搖桿操作/ 速度調整//破真空/ |
驅動系統(tǒng) | X/Y龍門直線電機雙驅 ，Z 軸伺服電機驅動 |
外形尺寸 (mm) | 2210*2150*2030 |
儀器重量 (kg) | 4500 |
玻璃臺承重(kg) | 20 |
儀器電源 | 220V(AC) ±10% 50HZ |
運行高度 ( mm ) | 1000 |
測量軟體 | 3D高度測量/完整的畫面實時二維量測/ 自動保存圖片/ 錄像功能/實時坐標定位/指定Folder 和Server 上保存 Image /支持多款控制器/ 支持多款工業(yè)相機/圖像掃描拼接 |
