高速率金屬厚膜電子束蒸鍍用電子槍，標(biāo)配長壽命燈絲，在φ50 mm范圍內(nèi)實現(xiàn)500 Hz以上高速掃描的同時還可以達(dá)到16kW的輸出，并且在構(gòu)造上取消了電子槍上方的部件從而減少了蒸氣附著，使得日常維護(hù)負(fù)擔(dān)大幅減輕。

BS-60250DEM的主要特點

1. 可實現(xiàn)16kW輸出（可實現(xiàn)高速率蒸鍍）

  輸出功率達(dá)到16kW（10kV,1.6A），可以實現(xiàn)金屬膜的高速鍍膜。

2. 標(biāo)配長壽命燈絲

  為了延長維護(hù)周期，標(biāo)配了長壽命燈絲。

3. 可選用大容量坩堝

  標(biāo)配φ50mm坩堝，選配并安裝磁極片BS-60830PP250后可以使用容量100 mL以上的φ70mm坩堝。

4. 可以實現(xiàn)500Hz以上的高速電子束掃描

  由于采用了新開發(fā)的掃描線圈，使得電子束掃描性能得到提升，從而實現(xiàn)升華性材料的均衡蒸鍍，可以應(yīng)用于氧化物蒸鍍。

5. 平坦的上部結(jié)構(gòu)（可有效降低蒸氣附著）

可選配大容量坩堝

選用專用的長磁極片后，可以使用容量100 mL以上φ70 mm的大容量坩堝。

減輕日常維護(hù)負(fù)擔(dān)

電子槍上方平坦的構(gòu)造使得蒸氣附著減少，降低的日常維護(hù)的負(fù)擔(dān)。

采用放電抑制結(jié)構(gòu)

采用了可以防止電子槍內(nèi)部壓力急劇上升的構(gòu)造，可以有效的抑制放電。

實驗條件：

?壓力條件：0.15 Pa一定（導(dǎo)入Ar氣體）

?電子束輸出：10 kV（8kV）, 0.3A, 10分鐘

?電子束照射范圍：W（BS-60250DEM）Ta2O5 （一般型號電子槍）

?電子束電源：JST-16F/ST-AS10F

各種金屬膜的蒸鍍速率

通過高輸出·高聚焦的電子束，實現(xiàn)了各類金屬的高速率蒸鍍。

使用大容量坩堝進(jìn)行的Al高速蒸鍍實例

通過配合使用大容量坩堝，將蒸鍍速率提升的更高。

SiO2顆粒材料的溶跡形狀

通過新開發(fā)的大口徑掃描線圈實現(xiàn)了高速掃描功能，使得電介質(zhì)材料也可以形成均衡的熔融面成為可能。

電子束照射條件：

?輸出功率：1.8kW（10kV, 0.18A）

?電子束照射時間：5 min

?掃描方式：CIRCULAR Scan 模式（ICE電源標(biāo)配功能）

?電子束掃描范圍：φ50 mm

?半徑方向掃描頻率：135 Hz

?圓周方向掃描頻率：570 Hz