| 峰谷精度 | ± 0.6 nm （λ / 1000） |
| 峰谷分辨率 | 0.05 nm（λ/ 12000） |
| 波前RMS重復性 | < 0.23="" nm（λ=""> |
| 單點RMS重復性 | < 0.06="" nm（λ=""> |
| 激光類型和波長 | He-Ne ，632.8 nm |
| 數(shù)值孔徑NA | 0.55（f＃0.91） |
| 數(shù)據(jù)采集 | 相移干涉技術（PSI） |
| 圖像縮放系統(tǒng) | 通過軟件界面控制4倍光學變焦 |
| 采集時間 | 10ms |
| 曝光時間 | 最小40μs |
| 光學聚焦范圍 | ±2m |
理想?yún)⒖迹簾o使用物理參考引入的傳播錯誤
- 節(jié)省時間，無需更改大量物理參考
- 節(jié)省成本，無需購買昂貴的參考套件
透射球面檢測精度比Fizeau干涉儀的檢測精度高100倍
- 節(jié)省時間和成本，不需要中間儀器或其他方法來提高準確性
D7比其他干涉儀檢查更多的表面特征
- 在安裝和啟動光學系統(tǒng)之前能更好地揭示制造缺陷誤差，從而節(jié)省了成本
高穩(wěn)定性
- 節(jié)省時間，出色的重復性提供了高準確性的結果
- 節(jié)省成本，檢測不需要特殊的環(huán)境條件
應用范圍廣
- 結構緊湊簡單，不論下實驗室或工廠使用都可以
無回程誤差
- 在測量非球面和自由曲面時，簡化了設置，節(jié)省了時間和成本
測量方案
1.球形凹面：
2.球形凸面：
3.平面：
4.光學系統(tǒng)（波前質(zhì)量測試）：
光學測試與測量
光學測試和測量服務包括測試光學系統(tǒng)的凹面，凸面，直角立方體，平面，非球面，自由形式和透射波前的表面圖形，以及曲率半徑的測量
光學設計與制造
基于在高精度光學系統(tǒng)計算機建模方面的30多年經(jīng)驗，我們建立了自己的合作伙伴關系，以設計和制造高質(zhì)量的光學器件。我們在光學制造方面的長期合作伙伴是KPU-韓國工業(yè)大學。
