SJ6000機床激光干涉精密測量系統(tǒng)集光、機、電、計算機等技術于一體，產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，結合不同的光學鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
主要鏡組圖
其中，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償。
線性測量應用
SJ6000機床激光干涉精密測量系統(tǒng)廣泛應用于機床、三坐標、機器人、3D打印設備、自動化設備、線性位移平臺、精密機械設備、精密檢測儀器等領域的線性測量。
在動態(tài)測量軟件配合下，SJ6000激光干涉儀可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。
動態(tài)測量概述
SJ6000動態(tài)測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進行相應的線性、角度或直線度的動態(tài)測量與性能檢測。
動態(tài)測量包括基于時間的動態(tài)測量和基于距離的動態(tài)測量，SJ6000動態(tài)測量軟件可對動態(tài)測量數(shù)據(jù)進行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。
位移-時間曲線
速度-時間曲線
加速度-時間曲線
振幅-頻率曲線
動態(tài)測量應用
1、基于時間的動態(tài)測量
機器運動控制性能評價：
1）運動控制器PID控制參數(shù)測試與設置
2）高速運動后機器的穩(wěn)定性測試與評價
3）高性能運動控制器的微小步幅的測試
2、振動監(jiān)視
1）掃描應用：用于定位精度不重要，但恒速對實現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關鍵的場合
2）機床應用：典型應用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運動的高質(zhì)量表面精加工
3、振動頻率分析
1）被測對象的振動頻率分析
2）FFT快速傅立葉變換分析
4、基于距離的動態(tài)測量
基于距離的動態(tài)測量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量，即運動軸在不停頓的情況下以用戶間隔進行數(shù)據(jù)采集。
5、提供脈沖觸發(fā)方式采集
CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀，可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運動軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照間隔位置進行數(shù)據(jù)采集。
應用案例
測量軟件
（1）友好的人機界面；
（2）豐富的應用功能模塊；
（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
（4）簡潔化的記錄管理；
（5）支持中文、英文和俄文界面；
（6）支持企業(yè)專屬模板定制。
部分技術指標
主機
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動態(tài)采集頻率：50 kHz
預熱時間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補償單元
空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測量距離：(0~80)m (無需遠距離線性附件)
角度測量范圍：±10°
平面度測量范圍：±1.5mm
直線度測量范圍：±3mm
垂直度測量范圍：±3/M mm/m
便攜箱尺寸：613*460*230mm
標準配置重量：18kg
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。
