應用方向：
- 半導體計量與檢驗
- 單色儀源
- 紫外-可見-近紅外光譜
- 光發(fā)射電子顯微鏡（PEEM）
- 材料表征
- 成像
- 薄膜測量
產品特點：
- 輻射>100mW/mm2.sr.nm，進行的測量
- 極低的噪聲和出色的空間穩(wěn)定性，精確且可重復的結果
- 雙光束輸出或者更高功率的單光束輸出，光源選擇靈活
- 緊湊的燈室，具有水冷和超潔凈結構，長壽命和高穩(wěn)定性
- 在整個光譜范圍內具有的亮度，170nm–2100nm
- 非電致發(fā)光，延長產品使用壽命，使用成本低
| 型號 | 波長范圍 | 光功率 | 光譜輻射亮度 | 輸出方式 | 數值孔徑 | 等離子體大小 | 使用壽命 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| EQ-99X | 170-2100nm | ~0.5W | ~10mW/mm2.sr.nm | 自由空間 | 0.47NA | 101μm×182μm | >9000小時使用壽命，之后需更換燈泡 |
| EQ-99XFC | 170-2100nm | ~80mW | ~60μW/nm | FC接頭 | 0.22NA | 64μm×147μm | |
| EQ-9 | 170-2100nm | ~0.5W | ~10mW/mm2.sr.nm | 自由空間，可選雙通道 | 0.56NA | 78μm×203μm | |
| EQ-77 | 170-2100nm | ~2W | ~40mW/mm2.sr.nm | 0.5NA | 126μm×318μm | ||
| EQ-400 | 170-2100nm | ~15W | ~100mW/mm2.sr.nm | 0.5NA | 372μm×807μm |
該產品在材料科學，生命科學的研究人員中廣泛使用，并以其在較寬光譜范圍內能提供光源亮度的優(yōu)點，常被用于成像和光譜分析。傳統(tǒng)上，有多種燈(如鎢燈、鹵燈，氙燈，氘燈)可以涵蓋這種寬光譜范圍需求。但是，在許多應用需求中，合并使用多種燈，造價高，光路效率低。由于傳統(tǒng)燈使用電極驅動，使其不能達到使用要求的高亮度和高功率需求。此外，傳統(tǒng)電極驅動的光源壽命短，需要頻繁更換，在燈正常使用壽命期間，燈的輸出光能也在逐漸下降。為了解決該問題，Energetiq自主研發(fā)出一套革命性的光源技術--LDLS™激光驅動光源，該光源有的亮度，光譜范圍廣，從170nm到包括整個可見光區(qū)及以上，并且其壽命比傳統(tǒng)燈得到極大提高。
Energetiq 公司開發(fā)的寬帶白光光源，采用激光泵浦的方式維持等離子體放電發(fā)光，避免了使用電極所帶來的種種缺陷。首先通過高壓放電點燃燈泡內的氙氣，使氙氣溫度升高電離變成等離子體，連續(xù)激光光束經過透鏡聚焦進入燈泡，利用激光的能量來維持燈泡內的等離子體，此時高壓即可關閉，采用聚焦良好的激光來維持等離子體，可以使紫外光激發(fā)穩(wěn)定而且易于聚焦。
LDLS的等離子體被束縛在一個很小的球狀區(qū)域內，密度大大增加，發(fā)光亮度也大幅度提高；由于LDLS等離子體中心位置高度穩(wěn)定，空間穩(wěn)定性也變得很好。這種接近于點光源的設計使LDLS在較長距離都有很好的準直性。此外LDLS等離子體不與電極直接接觸，電極并未受到侵蝕，增加了使用壽命。
