NightN斐索干涉儀RIF產(chǎn)品介紹
NightN開(kāi)發(fā)了斐索干涉儀RIF和配套軟件。該軟件旨在處理具有額外傾斜度的干涉圖案。
NightN斐索干涉儀RIF產(chǎn)品規(guī)格:
- 孔徑:10 至 95 mm(可選高達(dá) 300 mm)
- 工作頻率:高達(dá) 25 Hz
- 測(cè)量精度:0.032µm (P-V)
- 測(cè)量像差:5µm(P-V)
- 光源:二極管激光器
- 波長(zhǎng):0.65µm
- CCD:FireWire接口相機(jī)
軟件特色:
- 可處理實(shí)時(shí)圖像或保存為 .bmp 圖像
- 測(cè)量精度約為λ/400
- 結(jié)果顯示為 Zernike 多項(xiàng)式系數(shù)、P-V 和 RMS 值,相位分布的 2D 和 3D 表示
為了獲得被測(cè)表面的信息,在 x 方向引入傾斜,并獲得 8 到 60 條干涉條紋處理過(guò)程包括:
- 獲取干涉圖案圖像(或從 .bmp 文件加載)
- 確定感興趣的區(qū)域
- 過(guò)濾數(shù)據(jù),排除假極值
- 尋找極值
5 將相位轉(zhuǎn)化為極值坐標(biāo)的表示形式,通過(guò) Zernike 多項(xiàng)式分解、計(jì)算峰-谷誤差,均方根(RMS)和點(diǎn)擴(kuò)散函數(shù)(PSF)