光學(xué)設(shè)置 | 雙通 |
標(biāo)準(zhǔn)波長 | 625 / 780 / 1050 nm |
定制波長 | 400 to 1100 nm |
光學(xué)孔徑 | 5.1" (130 mm) |
重復(fù)性(ISO 5725) | <5 nm="">5> |
再現(xiàn)性(ISO 5725) | <7 nm="">7> |
動態(tài)范圍(散焦)RWE | 10μm PtV |
動態(tài)范圍(散焦)TWE | 200nm RMS |
精度(RWE) | <80 nm="">80> |
精度(TWE) | <20 nm="">20> |
尺寸 | 910 x 600 x 260 mm |
技術(shù)優(yōu)勢:
| 應(yīng)用:
市場:
規(guī)格:
|
與Fizeau干涉儀對比:
光學(xué)設(shè)置 | Fizeau | Phasics |
Diameter (mm) | 124.9 | 125.4 |
RWE (nm PtV) | 1498.13 | 1535.38 |
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR | 35.2 | 28.1 |
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA | 9.1 | 12.9 |
SAG (fr)-- ISO 10110 | 5.13 | 5.04 |
IRR (fr) | 0.75 | 0.61 |
RSI (fr) | 0.34 | 0.23 |
RMSt (fr) | 1.477 | 1.459 |
RMSi (fr) | 0.129 | 0.103 |
RMSa (fr) | 0.085 | 0.059 |