薄膜應(yīng)力及基底翹曲測試設(shè)備簡介:
FSM 500TC 200mm 高溫應(yīng)力測試系統(tǒng)可以幫助研發(fā)和工藝工程師評估薄膜的熱力學(xué)性能和穩(wěn)定性特性，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體，三-五族，太陽能，LED,數(shù)據(jù)存儲，微機電和面板產(chǎn)業(yè)。這些特性有助于檢測到諸如薄膜開裂，空隙，突起等可能在生產(chǎn)過程中導(dǎo)致嚴(yán)重的問題。在新工藝和材料投入生產(chǎn)前，F(xiàn)SM500TC作為檢驗其成熟性的工具，起著重要的作用。
FSM 500TC 200mm簡潔的用戶界面，使其很容易被操作人員或者偶爾使用的研發(fā)人員在研發(fā)或者生產(chǎn)環(huán)境下進行室溫和高溫環(huán)境下的應(yīng)力測試。
主要設(shè)計特性：
· 多用途:
兼容50-200mm晶圓，無需要更換樣品載片臺和夾具，可以在室溫和高溫下測試晶圓應(yīng)力和晶圓彎曲。
· 樣品容易放置和回收
通過使用定位銷使得晶圓很容易放置到 FSM 500TC內(nèi)進行重復(fù)操作
· 自動切換雙波段激光
具有的自動激光切換掃描技術(shù).當(dāng)樣品反射率不好時，系統(tǒng)會自動切換到不同波長的另外一只激光進行掃描。這使客戶可以測量包括Nitride，Polyimides, Low K，HighK,金屬等薄膜而不會遇到無法測量的問題。
· 可編程溫度周期
加熱周期菜單可編程為單個或者多個運行在不同的升溫速率和退火溫度條件下，進行薄膜材料的熱穩(wěn)定性檢測。
· 數(shù)據(jù)管理和報告
測試結(jié)果可用應(yīng)力vs溫度，應(yīng)力vs時間, 或者晶弓vs溫度為坐標(biāo)生成圖表，方便顯示和輸出成 Excel™ 或者 Word格式的報告。熱膨脹系數(shù)計算應(yīng)用是FSM500TC的標(biāo)準(zhǔn)功能。
相互疊加的多個加熱周期，測試結(jié)果的圖表和MAP可以很容易輸出為Excel或者 Word文檔生成報告。
