LIP-SPM100T系列為熱式質(zhì)量流量控制器,采用熱式原理實(shí)現(xiàn)對氣體流量的精確控制,流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差測量原理測量氣體的質(zhì)量流量,控制器工作時(shí)將傳感器加熱電橋測得的微弱信號放大測量,轉(zhuǎn)換成流量后與設(shè)定流量進(jìn)行比較,根據(jù)差值計(jì)算出控制調(diào)節(jié)閥門的開度,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)流量的精確控制。該系列的精度源于傳感器探頭,此密封探頭有兩個(gè)傳感元件組成——速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱至高于氣體/液體溫度的一個(gè)常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。