說(shuō)明
PTR 90 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 1000 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì) MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和冷陰極 (CC) 電離電流的測(cè)量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 230088V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230089V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù)，并可提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量結(jié)果。更多詳情，請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。配備集成式觸屏顯示器 (P/N: 2300085V02) 的變送器版本能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù)。更多詳情，請(qǐng)參閱第 6.4 章。
每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測(cè)試。測(cè)試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
這些變送器用途廣泛，可用作獨(dú)立裝置，或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過(guò)程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器含有兩個(gè)獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無(wú)法進(jìn)行對(duì)流，因此，傳感器對(duì)安裝位置并不敏感。通過(guò)擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測(cè)量氣體的熱損耗。
冷陰極反磁控管采用高電壓陽(yáng)極、陰極和永磁體。電子向陽(yáng)極加速，并將通過(guò)碰撞而使分子離子化。磁場(chǎng)使電子偏轉(zhuǎn)，從而使電子在穿過(guò)磁場(chǎng)前往陽(yáng)極時(shí)做螺旋形移動(dòng)。這種螺旋運(yùn)動(dòng)增大了電子遇到分子并使分子離子化的機(jī)會(huì)。
分子離子化產(chǎn)生電流，該電流是壓力的函數(shù)。這兩個(gè)傳感器元件均極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
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應(yīng)用
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
· 一般真空壓力測(cè)量
· 氣體回填測(cè)量和控制
· 涂料
· 質(zhì)譜儀控制
· 系統(tǒng)過(guò)程控制
· 檢測(cè)異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>
· 控制系統(tǒng)壓力
測(cè)量原理: | 依據(jù) MEMS Pirani 傳感器的熱傳導(dǎo)性 | |||
冷陰極離子化電流 | ||||
測(cè)量范圍 (N2 和空氣): | 1×10-8 至 1000 毫巴 | |||
精確度 (1) (N2): | 1×10-8 至 1x10-3 毫巴 (CC): | 誤差是讀數(shù)的 ±30% | ||
1×10-4 至 1x10-3 毫巴 (MP): | 誤差是讀數(shù)的 ±10% | |||
1×10-3 至 100 毫巴 (MP): | 誤差是讀數(shù)的 ±5% | |||
100 至 1000 毫巴 (MP): | 誤差是讀數(shù)的 ±25% | |||
重復(fù)性 (1) (N2): | 1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±2% | ||
電源電壓: | 9-30 伏直流 | |||
功耗: | < 2 瓦 | |||
熔絲 (熱可恢復(fù)): | 200 毫安 | |||
模擬輸出 (100 歐阻抗): | 2-8.6 伏直流，Log. 0.6 伏直流/十進(jìn)制 | |||
模擬輸出分辨率: | 16 位 | |||
模擬輸出更新率: | 16 赫茲 | |||
傳感器故障模擬輸出 (Pirani): | 10 伏直流 | |||
材料暴露于真空 (2): | 304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM | |||
機(jī)械設(shè)定點(diǎn)繼電器: | ||||
P/N: 230070V02、230071V02、230072V02、230085V02: | 0 | |||
P/N: 230088V02: | 3 | |||
設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: | 1×10-8 至 1000 毫巴 | |||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) | |||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: | 100 毫歐 (值) | |||
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: | <100 毫秒 | |||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載) | |||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載) | |||
軟件設(shè)定點(diǎn)繼電器: | ||||
P/N: 230089V02: | 2 | |||
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: | < 20 毫秒 | |||
內(nèi)部容積: | KF25 | 28.6 厘米3 | ||
KF40 | 21.7 厘米3 | |||
CF46 | 32.7 厘米3 | |||
外殼材質(zhì): | 304 號(hào)不銹鋼 | |||
重量: | ||||
P/N: 230070V02、230088V02: | 321 克 | |||
P/N: 230089V02: | 600 克 | |||
P/N: 230085V02: | 550 克 | |||
P/N: 230071V02: | 358 克 | |||
P/N: 230072V02: | 576 克 | |||
允許壓力: | 6 巴 | |||
運(yùn)行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | |||
烘烤溫度 (電源關(guān)閉): | 85 °C (185 °F) | |||
燈絲溫度: | 超過(guò)室溫 35 °C | |||
異物防護(hù)等級(jí): | IP40 | |||
泄漏速率: | < 5?0-9 毫巴?升/秒 | |||
零件 |
產(chǎn)品號(hào) |
PTR 90 N，DN25 KF | 230070V02 |
PTR 90 N，DN25 KF；Display | 230085V02 |
PTR 90 N，DN40 KF | 230071V02 |
PTR 90 N，DN40 CF | 230072V02 |
PTR 90 N，DN25 KF，RS232，3SP | 230088V02 |
PTR 90 N，DN25 KF，EtherCAT | 230089V02 |
陰極替換片 PTR 90 N / PTR225 N* | EK16291V02 |
陽(yáng)極替換環(huán) PTR 90 N / PTR 225 N** | V02 |
Display 1 | 230001 |
Display 2 | 230024 |
Display 3 | 230025 |
Graphix 1 | 230680V01 |
Graphix 2 | 230681V01 |
Graphix 3 | 230682V01 |
A 型電纜，5 米 | 12426 |
A 型電纜，10 米 | 230012 |
A 型電纜，15 米 | 12427 |
A 型電纜，20 米 | 12428 |
A 型電纜，30 米 | 12429 |
A 型電纜，50 米 | 12431 |
A 型電纜，75 米 | 12432 |
A 型電纜，100 米 | 12433 |
螺旋管 DN 25 ISO-KF | 230083 |
螺旋管 DN 40 ISO-KF | 230084 |
定心環(huán) (1.4305 號(hào)不銹鋼)，含 O 型環(huán) | 88374 |
定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過(guò)濾器 | 88352 |
卡環(huán) (鋁) | 210043 |
隔板，含定心環(huán) (FPM) | 230078 |
