說(shuō)明
TTR 200 N THERMOVAC 系列真空變送器可提供從 5×10-5 毫巴至 1500 毫巴的較大測(cè)量范圍，基于對(duì) MEMS Pirani 硅芯片傳感器上小空腔中的熱傳導(dǎo)性和壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測(cè)量結(jié)果。
變送器配備 RS232 數(shù)字通信接口，可設(shè)定變送器參數(shù)并提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量。更多詳情，請(qǐng)參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。
每臺(tái)變送器在出廠前已逐臺(tái)進(jìn)行全量程測(cè)試。測(cè)試報(bào)告隨附在包裝中。此外，每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
變送器擁有三個(gè)機(jī)械繼電器，這些繼電器可用于過(guò)程控制，例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備，用于獲取壓力讀數(shù)，或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
變送器含有兩個(gè)獨(dú)立的傳感器元件。MEMS Pirani (MEMS = Micro-Electro-Mechanical-System (微電子機(jī)械系統(tǒng))) 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果。MEMS Pirani 傳感器包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片，其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面。芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面。由于傳感器的幾何形狀，空腔內(nèi)無(wú)法進(jìn)行對(duì)流，因此，傳感器對(duì)安裝位置并不敏感。通過(guò)擴(kuò)散，氣體分子只到達(dá)熱元件，在此處可測(cè)量氣體的熱損耗。
壓電傳感器基于對(duì)硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)的測(cè)量。硅膜的一側(cè)暴露于環(huán)境壓力，另一側(cè)暴露于真空。
壓電傳感器可測(cè)量無(wú)關(guān)于氣體成分和濃度的真實(shí)差壓。
這兩個(gè)傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用，可承受較高重力和瞬間空氣涌入。
變送器可用于眾多不同領(lǐng)域的真空應(yīng)用中，如：工業(yè)應(yīng)用、研發(fā)、半導(dǎo)體、分析和涂料工業(yè)中:
· 真空鎖壓力控制
· 一般真空壓力測(cè)量
· 前級(jí)管道和粗抽壓力測(cè)量
· 氣體回填測(cè)量和控制
· 質(zhì)譜儀控制
· 啟動(dòng)超高真空電離 (UHV) 規(guī)
· 系統(tǒng)過(guò)程控制
· 檢測(cè)異常壓力，利用設(shè)定點(diǎn)繼電器采取妥當(dāng)?shù)陌踩胧?/span>
· 控制系統(tǒng)壓力
應(yīng)用
差分壓電傳感器將始終相對(duì)于環(huán)境壓力進(jìn)行精確的測(cè)量，不論環(huán)境條件如何改變。這使其成為以下高精度控制的理想備選:
- 真空鎖 (確保精確快速的排氣并防止真空鎖受到空氣污染)
- 相對(duì)于環(huán)境的腔室超壓和欠壓控制。
例如:
一名客戶想要在 10 毫巴的相對(duì)環(huán)境超壓下打開(kāi)真空鎖，以免在他打開(kāi)真空鎖時(shí)氣體涌入真空鎖。為此，此客戶可以基于差分壓電讀數(shù)來(lái)執(zhí)行一種控制算法。當(dāng)壓電讀數(shù)為 +10 毫巴時(shí)，表示真空鎖中的壓力較真空鎖外的環(huán)境壓力超出 10 毫巴 (不論環(huán)境壓力是多少，例如 1000 或 1020 毫巴)。除差分測(cè)量之外，變送器還提供較寬的測(cè)量范圍，此范圍可通過(guò)模擬輸出獲得。
技術(shù)數(shù)據(jù)
測(cè)量原理: | 依據(jù) MEMS Pirani 傳感器的熱傳導(dǎo) | |||||||||||
壓電傳感器中硅膜的機(jī)械偏轉(zhuǎn) | ||||||||||||
測(cè)量范圍 (N2 和空氣): | 5×10-5 至 1500 毫巴 | |||||||||||
測(cè)量范圍差分: | -1013 至 1013 毫巴 (RS232) | |||||||||||
精確度 (1) (N2): | MEMS Pirani: | 5×10-4 至 1x10-3 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±10% | |||||||||
1×10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±5% | |||||||||||
100 至 1000 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±25% | |||||||||||
差分壓電: | -10 至 10 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±10% ±0.67 毫巴 | ||||||||||
-100 至 -10 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±8% | |||||||||||
-1013 至 -100 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±1% | |||||||||||
10 至 100 毫巴 | 誤差是讀數(shù)的 ±5% | |||||||||||
重復(fù)性 (1) (N2): | MEMS Pirani: | 1x10-3 至 100 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±2% | |||||||||
差分壓電: | -1013 至 10 毫巴: | 誤差是讀數(shù)的 ±1% | ||||||||||
電源電壓: | 9-30 伏直流 | |||||||||||
功耗: | < 1.2 瓦 | |||||||||||
熔絲 (熱可恢復(fù)): | 200 毫安 | |||||||||||
模擬輸出: | 0.61-10.23 伏直流，Log. 1.286 伏直流/十進(jìn)制 | |||||||||||
模擬輸出分辨率: | 16 位 | |||||||||||
模擬輸出阻抗: | 100 歐 | |||||||||||
模擬輸出更新率: | 16 赫茲 | |||||||||||
傳感器故障，模擬輸出: | 0.5 伏 | |||||||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器: | ||||||||||||
P/N: 230365V02: | 3 | |||||||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器范圍: | 值: | 2 ×10-4 至 1300 毫巴 | ||||||||||
差分值: | -1013 毫巴至 1333 毫巴 | |||||||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)額定值: | 1 安/30 伏直流/交流 (電阻性負(fù)載) | |||||||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器響應(yīng)時(shí)間: | < 100 毫秒 | |||||||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)電阻: | 100 毫歐 (值) | |||||||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 100000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/1 安負(fù)載) | |||||||||||
設(shè)定點(diǎn)繼電器觸點(diǎn)耐久性: | 2000000 循環(huán) (最小值) (30 伏直流/0.2 安負(fù)載) | |||||||||||
材料暴露于真空 (2): | 304 號(hào)不銹鋼、密封材料 FPM | |||||||||||
內(nèi)部容積: | KF16 法蘭 | 2.8 厘米3 | ||||||||||
外殼材質(zhì): | 304 號(hào)不銹鋼 | |||||||||||
法蘭材質(zhì): | 304 號(hào)不銹鋼 | |||||||||||
重量: | 305 克 | |||||||||||
允許壓力: | 2 巴 | |||||||||||
運(yùn)行溫度: | 0 至 40 °C (32 至 104 °F) | |||||||||||
烘烤溫度 (電源關(guān)閉): | 85 °C (185 °F) | |||||||||||
燈絲溫度: | 超過(guò)室溫 35 °C | |||||||||||
濕度: | 0 – 95% 非冷凝 | |||||||||||
異物防護(hù)等級(jí): | IP40 | |||||||||||
泄漏速率: | < 5.10-9 毫巴?升/秒 | |||||||||||
配件和備件編號(hào)
零件 |
產(chǎn)品號(hào) |
TTR 200 N，ATM，DN16 KF，RS232，3SP | 230365V02 |
螺旋管 DN 16 ISO-KF | 230082 |
擋板 DN 25 ISO-KF，含定心環(huán) | 230078 |
定心環(huán) (1.4305 號(hào)不銹鋼)，含 O 型環(huán)，DN16 KF | 88346 |
定心環(huán) (不銹鋼)，含燒結(jié)金屬過(guò)濾器，DN16 KF | 88351 |
卡環(huán) (鋁)，DN16 KF | 18341 |
定心環(huán)，含細(xì)濾器 DN16 KF | 88396 |
